[发明专利]一种晶相结构的判断方法及晶相标定模板

说明书

本发明实施例公开了一种晶相结构的判断方法，所述方法包括：提供晶相标定模板，所述晶相标定模板包括N个同心的晶相标定圆，不同所述晶相标定圆用于标定不同晶面间距的晶相结构；其中，N为大于或等于1的正整数；获取待判断样品的晶格衍射图像；将所述晶相标定模板放置在所述待判断样品的晶格衍射图像上，并使所述N个同心的晶相标定圆的圆心与所述晶格衍射图像的中心重合；基于所述晶格衍射图像中的衍射光斑与所述晶相标定圆的相对位置关系，确定所述待判断样品的晶相结构。

技术领域

本发明涉及材料表征领域，具体是涉及一种晶相结构的判断方法及晶相标定模板。

背景技术

目前，X射线衍射(X-ray diffraction,简称XRD)是业界表征材料晶相结构的主流方法。

然而，XRD只能表征控片，无法表征结构片；同时，在表征较薄的控片时XRD也很难收集到有效的信号。

发明内容

有鉴于此，本发明实施例为解决背景技术中存在的至少一个问题而提供一种晶相结构的判断方法及晶相标定模板。

为了达到上述目的，本发明的技术方案是这样实现的：

本发明实施例提供了一种晶相结构的判断方法，所述方法包括：提供晶相标定模板，所述晶相标定模板包括N个同心的晶相标定圆，不同所述晶相标定圆用于标定不同晶面间距的晶相结构；其中，N为大于或等于1的正整数；

获取待判断样品的晶格衍射图像；

将所述晶相标定模板放置在所述待判断样品的晶格衍射图像上，并使所述N个同心的晶相标定圆的圆心与所述晶格衍射图像的中心重合；

基于所述晶格衍射图像中的衍射光斑与所述晶相标定圆的相对位置关系，确定所述待判断样品的晶相结构。

上述方案中，所述基于所述晶格衍射图像中的衍射光斑与所述晶相标定圆的相对位置关系，确定所述待判断样品的晶相结构，包括：

所述衍射光斑位于所述晶相标定圆上，确定所述待判断样品包含所述晶相标定圆所标定的晶相结构；和/或，

所述衍射光斑位于所述晶相标定圆内，确定所述待判断样品包含的晶相结构的晶面间距大于所述晶相标定圆所标定晶相结构的晶面间距；和/或，

所述衍射光斑位于所述晶相标定圆外，确定所述待判断样品包含的晶相结构的晶面间距小于所述晶相标定圆所标定晶相结构的晶面间距。

上述方案中，所述获取待判断样品的晶格衍射图像，包括：获取所述待判断样品不同位置处的多个所述晶格衍射图像；

所述基于所述晶格衍射图像中的衍射光斑与所述晶相标定圆的相对位置关系，确定所述待判断样品的晶相结构，包括：

多个所述晶格衍射图像中均不存在位于所述晶相标定圆内的衍射光斑，确定所述待判断样品不存在晶面间距大于所述晶相标定圆对应的晶面间距的晶相结构。

上述方案中，所述待判断样品包括Al₂O₃薄膜；

所述基于所述晶格衍射图像中的衍射光斑与所述晶相标定圆的相对位置关系，确定所述待判断样品的晶相结构，包括：

所述Al₂O₃薄膜的多个所述晶格衍射图像均不存在位于晶面间距为对应的所述晶相标定圆内的衍射光斑，确定所述Al₂O₃薄膜的晶相结构为α相和/或γ相。

上述方案中，所述待判断样品包括Al₂O₃薄膜；

所述基于所述晶格衍射图像中的衍射光斑与所述晶相标定圆的相对位置关系，确定所述待判断样品的晶相结构，包括：