[发明专利]一种坩埚自动化装料设备

说明书

本发明提供了一种坩埚自动化装料设备，包括振动输送料仓机构，振动输送料仓机构用于将硅料输送至中间料斗机构；中间料斗机构用于将振动输送料仓机构下落的硅料转至坩埚内；坩埚移栽机构包括固定底座，固定底座上固定设置有导轨，导轨上配合设置有移动平台，移动平台上固定设置有控制坩埚旋转的旋转台，旋转台上固定设置有用于放置坩埚的坩埚治具；下料称重机构包括移动滑轨，移动滑轨上配合设置有滑动组件，滑动组件与移动滑轨滑动连接，滑动组件上通过绳索连接有电动葫芦，电动葫芦上安装有用于称重硅料的电子秤。本发明实现了坩埚自动化硅料装料功能，将硅料系统、不间断的自动装料进坩埚，满足生产要求，提供生产效率。

技术领域

本发明属于硅料装料技术领域，尤其是涉及一种坩埚自动化装料设备。

背景技术

近年来，在产业高速发展、政策利好以及技术进步等因素的共同助力下，国内芯片产业的成长势头迅猛，产业维持高速增长；市场上现有的硅料搬运、装料机，大部分都是简单的结构，只能简单的实现物料的夹取，只能满足单一动作要求，由于使用环境的特殊性要求，简单的上料机构，不能系统的、不间断的形成坩埚的装料；因此，在这种情况下，迫切需要研发一种自动化坩埚的装料设备，来解决产生需要。

发明内容

有鉴于此，本发明旨在提出一种坩埚自动化装料设备，以解决现有的坩埚装料折别无法满足系统的、持续的装料工作的问题。

为达到上述目的，本发明的技术方案是这样实现的：

一种坩埚自动化装料设备，包括支撑架体、振动输送料仓机构、中间料斗机构、下料称重机构、坩埚移栽机构；

包括支撑架体、振动输送料仓机构、中间料斗机构、下料称重机构、坩埚移栽机构；

振动输送料仓机构固定设置在支撑架体的顶端，振动输送料仓机构的卸料口伸至中间料斗机构；

中间料斗机构固定设置在支撑架体上，且对应设置在震动料仓机构的下方，用于将振动输送料仓机构下落的硅料转至坩埚内；

坩埚移栽机构包括固定底座，固定底座上固定设置有导轨，导轨上配合设置有移动平台，移动平台上固定设置有控制坩埚旋转的旋转台，旋转台上固定设置有用于放置坩埚的坩埚治具；

下料称重机构包括固定设置在支撑架体上的移动滑轨，移动滑轨上配合设置有滑动组件，滑动组件与移动滑轨滑动连接，滑动组件上通过绳索连接有电动葫芦，电动葫芦上安装有用于称重硅料的电子秤；

下料称重机构的下方还设置有用于转运坩埚的移动推车。

进一步的，每组振动输送料仓机构包括固定支架，固定支架固定设置在支撑架体上，固定支架的顶端设置有料仓，料仓的顶端两侧位置向外延伸设有连接部一，连接部一通过弹簧固定设置在固定支架上，料仓的底端设置有直振输送槽，直振输送槽的槽口对应设置有直振输送器，直振输送器底端通过支撑座固定在支撑架体上，直振输送器的卸料口对应中间料斗机构。

进一步的，料仓的底端还设置有用于防止硅料堵住直振输送槽槽口的振动电机一；

对应直振输送槽的料仓外侧侧壁上还设置有用于检测硅料是否连续落料的光栅一。

进一步的，中间料斗机构包括料斗，料斗的顶端两侧位置向外延伸设有连接部二，连接部二通过弹簧固定设置在支撑架体上，料斗上固定设置有用于防止硅料堵塞料斗卸料口的振动电机二，料斗侧壁上设置有用于检测硅料是否连续落料的光栅二；

料斗的底端设置有卸料口，对应卸料口的位置设置有料斗门，料斗的一侧侧壁上固定安装有气缸，气缸的气缸杆端部连接并驱动固定块，固定块与料斗门固连，用于控制料斗门的开合。