[发明专利]一种用于晶圆生产的固定设备

说明书

本发明提供一种用于晶圆生产的固定设备，其结构包括固定盘、箱体、显示器、控制板，固定盘滑动于箱体前端，显示器安装于控制板的上面，控制板电连接于箱体的左下角；本发明因夹合块夹合或打开得到的流动气体，通过导风槽吹向主块与晶圆的接触面，使附于固定器的夹合块上小颗粒得到清理，避免了晶圆在生产的过程中，由于抖动使晶圆在加工中跑偏的问题，从而晶圆的加工精度与成品率均得到提高，通过夹合块夹合或打开时，突然停止产生的惯性使挡块的起伏层上下弹动，使得残留于排屑管内部的小颗粒得到清理，防止小颗粒受气流的影响而再次跑入排屑管，造成气体不能够流通的问题。

技术领域

本发明属于晶圆光刻显影领域，更具体地说，特别涉及一种用于晶圆生产的固定设备。

背景技术

晶圆生产固定器是生产晶圆时使用的固定设备，通过夹合或贴合的方式对晶圆进行固定，使晶圆在生产的过程中能够保持稳定，常用于晶圆生产、晶圆贴膜等晶圆加工的场所。

基于上述描述本发明人发现，现有的一种用于晶圆生产的固定设备主要存在以下不足，比如：

由于空气中的细小颗粒容易随气体的流动而附于固定器的夹合片上，若夹合片在对晶圆进行固定操作时，颗粒卡于夹合片与晶圆之间，则晶圆在生产的过程中，因抖动使颗粒产生位移，致使晶圆在加工中跑偏，从而导致晶圆的加工精度降低。

发明内容

为了解决上述技术问题，本发明提供一种用于晶圆生产的固定设备，以解决现有的问题。

针对现有技术的不足，本发明一种用于晶圆生产的固定设备的目的与功效，由以下具体技术手段所达成：一种用于晶圆生产的固定设备，其结构包括固定盘、箱体、显示器、控制板，所述固定盘滑动于箱体前端，所述显示器安装于控制板的上面，所述控制板电连接于箱体的左下角，所述固定盘设有壳体、夹合块，所述壳体安装于固定盘的中部，所述夹合块与壳体内部间隙配合，所述夹合块呈梯形状且设有六块，其接触面均为较光滑的合金材料。

作为优选，所述夹合块设有主块、底块，所述底块右侧与主块左端嵌固连接，所述主块左端设有小凸块，其小凸块为减小接触面而提高固定时的稳定性，所述底块上下为圆弧的梯形。

作为优选，所述主块设有块身、导风槽、排屑管，所述导风槽位于块身左端，所述排屑管安装于块身内部，所述导风槽可将夹合块夹合或打开时，产生的气流导向主块左侧的小凸块，所述排屑管设有四道。

作为优选，所述排屑管设有管体、挡块、振弹块、弹层，所述挡块安装于管体内部，所述振弹块与弹层底部嵌固连接，所述弹层与管体内部底端间隙配合，所述挡块为锥形的小块，且设有两组，均匀地分布于管体的两侧，所述弹层为具有较好弹性的橡胶制成。

作为优选，所述挡块设有块体、起伏层、囊条、复弹球，所述起伏层安装于块体顶部，所述囊条两端与起伏层内壁嵌固连接，所述复弹球安装于块体内部，所述起伏层顶部为圆弧的凸起层块，且具有一定弹性的橡胶制成，所述囊条为气囊材质的布条。

作为优选，所述振弹块设有连接板、压开块、推块，所述压开块上下两端分别与推块嵌固连接，所述连接板安装于推块上下两端，所述压开块为较好弹性的牛角形塑胶，所述推块为圆弧形的弹性橡胶块。

与现有技术相比，本发明具有如下有益效果：

1、本发明因夹合块夹合或打开得到的流动气体，通过导风槽吹向主块与晶圆的接触面，使附于固定器的夹合块上小颗粒得到清理，避免了晶圆在生产的过程中，由于抖动使晶圆在加工中跑偏的问题，从而晶圆的加工精度与成品率均得到提高。

2、通过夹合块夹合或打开时，突然停止产生的惯性使挡块的起伏层上下弹动，使得残留于排屑管内部的小颗粒得到清理，防止小颗粒受气流的影响而再次跑入排屑管，造成气体不能够流通的问题。

附图说明

图1为本发明一种用于晶圆生产的固定设备的结构示意图。