[发明专利]灭菌方法以及灭菌装置

权利要求书

1.一种灭菌方法，其对收容于腔室的灭菌对象物进行灭菌，其中，

所述灭菌方法包括：

第一蒸气注入工序，向所述腔室的内部注入由过氧化氢的第一水溶液生成的蒸气；

臭氧注入工序，在所述第一蒸气注入工序后，向所述腔室的内部注入臭氧气体；以及

第二蒸气注入工序，在所述臭氧注入工序后，向所述腔室的内部注入由过氧化氢的第二水溶液生成的蒸气，

所述第二水溶液所含的过氧化氢的总量为所述第一水溶液所含的过氧化氢的总量以下。

2.一种灭菌装置，其中，

所述灭菌装置具备：

腔室，其收容灭菌对象物；

蒸发器，其与所述腔室连通，并使过氧化氢的第一水溶液、或者过氧化氢的第二水溶液蒸发并且填充；

臭氧产生器，其与所述腔室连通，并生成臭氧气体；以及

控制部，其对在所述蒸发器中生成的蒸气、或者在所述臭氧产生器中生成的臭氧气体向所述腔室的内部的注入动作进行控制，

所述第二水溶液所含的过氧化氢的总量为所述第一水溶液所含的过氧化氢的总量以下，

所述控制部使由所述第一水溶液生成的蒸气向所述腔室的内部注入，然后使臭氧气体向所述腔室的内部注入，并在注入臭氧气体后使由所述第二水溶液生成的蒸气向所述腔室的内部注入，从而对所述灭菌对象物进行灭菌。