[发明专利]一种致冷机低温泵

说明书

本发明涉及低温抽气技术领域，且公开了一种致冷机低温泵，包括泵壳，所述泵壳的下表面固定安装有制冷机驱动装置，所述制冷机驱动装置正面的上方开设有冷却气进气口，所述制冷机驱动装置正面的下方开设有冷却气出气口，所述制冷机驱动装置的一侧固定安装有预抽口。该致冷机低温泵，通过主齿轮、传动齿轮等齿轮的配合，使得在外冷阵板凝结气体过多时，外冷阵板向下移动达到极限位置后，此时一级冷头接入内冷阵板使得内冷阵板形成新的一级冷阵，使得在外冷阵板的一级冷阵吸力消失后能够调整一级冷阵位置，使得吸力不会停止，待外冷阵板处凝结气体化开排出后，一级冷头返回以形成原一级冷阵，继而使得低温泵形成连续吸气，继而提高吸气效率。

技术领域

本发明涉及低温抽气技术领域，具体为一种致冷机低温泵。

背景技术

低温抽气技术是目前获得洁净真空环境的一种快速而有效的方法。随着温度下,致冷量近10瓦的两级高可靠小型致冷机的日臻完善,致冷机低温泵得到迅速发展,已成为一种获得清洁、无油污染的真空获得设备。低温泵的工作原理是利用气体在超低温表面发生物理吸附而达到排气的效果。

首先，在气体被低温泵吸入内部时，气体中所含有的H2O和CO2等冷凝点较高的气体在经过一级冷阵后凝结在一级冷阵表面，而气体中剩下的N2、 O2等不可凝气体进入二级冷阵后被吸附剂吸附，当一级冷阵冷凝的气体量过多，则排气速度降低，在凝结气体达到极限后，这时低温泵不在具备吸气动力，继而需要将低温泵加热，放出冷凝的H2O和CO2后，重新使用，使得在低温泵使用过程中无法进行连续吸气，使得吸气效率降低。

其次，由于在致冷机对降温气体进行通入通出时，在泵内部易产生较多的热量，而一级冷阵内部需要进行吸气，由于光子的存在，使得一级冷阵的通气口易受到热负载的热辐射的影响，造成冷阵内部温度升高，继而使得吸气功率下降，继而造成吸气速度降低，使得吸气容量减小。

发明内容

本发明提供了一种致冷机低温泵，具备除凝固气体的优点，解决了以上背景技术中提到的问题。

本发明提供如下技术方案：一种致冷机低温泵，包括泵壳，所述泵壳的下表面固定安装有制冷机驱动装置，所述制冷机驱动装置正面的上方开设有冷却气进气口，所述制冷机驱动装置正面的下方开设有冷却气出气口，所述制冷机驱动装置的一侧固定安装有预抽口，所述泵壳的顶部固定安装有百叶窗，所述百叶窗下表面的中部固定安装有二级冷阵，所述二级冷阵的内部固定安装有吸附剂，所述二级冷阵底面的中部固定安装有二级冷头，所述二级冷头内部固定套接有通气柱，所述通气柱与制冷机驱动装置固定连接，所述百叶窗的下表面固定安装有分隔板，所述分隔板的下表面固定安装有进气板，所述进气板的外部活动套接有位于泵壳内部的外冷阵板，所述外冷阵板的顶部固定连接有卡顶头，所述外冷阵板的下表面固定安装有支撑弹簧，所述二级冷阵外部的周围均匀固定安装有与分隔板相连接的套筒，所述套筒内部活动套接有连通棒，所述连通棒内部开设有流道，所述套筒内部开设有回力腔，所述回力腔内部固定安装有与连通棒连接的回复弹簧，所述连通棒的另一端固定安装有与卡顶头活动连接的推杆，所述套筒靠近分隔板一侧的下表面开设有连通口，所述二级冷阵的外部固定安装有内冷阵板，所述内冷阵板和二级冷阵之间固定安装有隔温层，所述二级冷阵与内冷阵板及外冷阵板内部均开设有注冷道。

优选的，所述进气板的上表面均匀开设有多个转轴，所述转轴上活动套接有连通转板，所述外冷阵板的下端内表面固定安装有外冷板齿，所述进气板内部的内外侧均固定安装有主齿轮，所述主齿轮的正面固定安装有传动齿轮，所述传动齿轮的外侧固定套接有齿条，两端所述主齿轮之间均匀固定安装有转轴，所述进气板内侧的传动齿轮的另一端活动连接有一级冷头，所述一级冷头活动套接在通气柱外部，所述通气柱位于一级冷头附近的上下端开设有柱孔，所述一级冷头的下端外侧均匀开设有与主齿轮相适配的冷头卡齿，所述一级冷头外部的上下端开设有冷头孔。

优选的，所述流道为反7形状，所述外冷阵板在上方时，所述流道使二级冷阵和分隔板外侧连通，所述外冷阵板下降后，所述流道与连通口连通，所述外冷阵板下降到卡顶头顶端与推杆连接时，此时为极限位置，所述分隔板为恒温吸热材料制成。