[发明专利]一种嵌套式石墨盘

权利要求书

1.一种嵌套式石墨盘，其特征在于，包括：

下层石墨盘(100)，所述下层石墨盘(100)的表面设有凹坑(110)，所述凹坑(110)的内壁面设有若干定位块(120)；

上层石墨盘(200)，所述上层石墨盘(200)嵌套在所述凹坑(110)内，所述上层石墨盘(200)的侧壁设有与所述定位块(120)相配合的定位槽(210)，所述上层石墨盘(200)的上表面设有用于放置衬底的凹槽(220)，下表面设有若干不同高度的台面(230)，所述台面(230)与所述下层石墨盘(100)之间形成一层间隙距离不同的空气层。

2.根据权利要求1所述的嵌套式石墨盘，其特征在于，所述凹坑(110)内设有环形槽(130)，所述上层石墨盘(200)的下端对应设有环形凸起(240)。

3.根据权利要求1所述的嵌套式石墨盘，其特征在于，所述台面(230)的高度逐步增高。

4.根据权利要求3所述的嵌套式石墨盘，其特征在于，所述台面(230)成阶梯状。

5.根据权利要求1所述的嵌套式石墨盘，其特征在于，所述定位块(120)的数量为三个，所述定位块(120)绕所述凹坑(110)的轴线均匀布置在所述凹坑(110)的内壁面上。

6.根据权利要求1所述的嵌套式石墨盘，其特征在于，所述定位块(120)为半圆柱形或三棱柱形。

7.根据权利要求1所述的嵌套式石墨盘，其特征在于，所述下层石墨盘(100)上设有多个所述凹坑(110)，每个所述凹坑(110)内均嵌套有所述上层石墨盘(200)。