[发明专利]一种静电状态的容量形状异变检测在审

专利信息
申请号: 202110217949.7 申请日: 2021-02-26
公开(公告)号: CN112857463A 公开(公告)日: 2021-05-28
发明(设计)人: 黄澄珵;黄新生 申请(专利权)人: 艾极倍特(上海)半导体设备有限公司
主分类号: G01D21/02 分类号: G01D21/02
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 201400 上海市奉*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 静电 状态 容量 形状 检测
【权利要求书】:

1.一种静电状态的容量形状异变检测,其特征在于: 所述电状态的容量形状异变检测包括一个圆柱形外筒,所述圆柱形外筒以滑动装入有金属滑动轴,所述滑动轴外滑动连接有外管,且外管外设置有采样电路。

2.根据权利要求1所述的一种静电状态的容量形状异变检测,其特征在于:所述滑动轴外设置有输出装置和电极和保护极,所述电极外围绕有电极防护件。

3.根据权利要求1所述的一种静电状态的容量形状异变检测,其特征在于:所述圆柱形外筒外设置有同轴电缆,且输出装置外设置有跟随放大器和驱动器。

4.根据权利要求1所述的一种静电状态的容量形状异变检测,其特征在于:所述静电状态的容量形状异变检测包括以下步骤:

S1:外管在滑动轴的在外周附近电容电压转换电路将滑动轴和电极之间的电容大小转换为交流电压幅度的大小,而相同的电容该配置设置有输出装置,该输出装置将电压转换电路的输出转换成滑动轴的位移并输出;

S2:当滑动轴相对于外筒在纵向上移动时,滑动轴与电极之间的电容的大小根据位移而变化,通过将电容的变化转换为电压可以获得与位移的大小相对应的输出;

S3:此外,围绕电极防护件的电极和所述同轴电缆的外导体的电压跟随放大器基本上到电极的内部导体,并通过同轴电缆相同的电势到驱动器通过内部的电极的导体所产生的分布电容和同轴电缆使其微微并阻止浮动容量,可以通过用保护电极围绕电极的一部分来限制检测方向;

S4:采样电路将电压跟随器放大器之间的差作为与检测到的电容成比例的电压输出,该输出包括电极和保护极之间以及同轴电缆的内外导体之间的分布电容;作为电压跟随器放大器输出的互积的同相分量,包括比例分量和与串联并联施加到所检测电容的电阻成比例的分量;

S5:检测到的电容成比例的分量是电压跟随器放大器的乘积的滯后相位,采样电路通过使用电压跟随器放大器的乘积的滯后相位进行采样来对检测到的电容进行采样。

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