[发明专利]一种晶圆全自动取粒机

权利要求书

1.一种晶圆全自动取粒机，其特征在于，包括工作台(1)，所述工作台(1)上设置有放置台(2)，所述放置台(2)的上方设置有检测装置，所述检测装置的一侧设置有机械臂，所述放置台(2)连接有取料移动装置，所述机械臂一侧的工作台(1)上设置有承装盘(3)，所述承装盘(3)连接有放料移动装置，所述机械臂包括支撑架(4)，所述支撑架(4)上设置有转动电机(5)，所述转动电机(5)的输出端竖直向下设置，所述输出端的末端连接有取料臂(6)，所述取料臂(6)的末端设置有取料吸嘴，所述支撑架(4)上设置有气泵(7)，所述气泵(7)与取料吸嘴之间连通有抽气管，所述工作台(1)上设置有PLC控制箱(8)，所述取料移动装置、放料移动装置、检测装置和机械臂与PLC控制箱(8)电性相连。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆全自动取粒机，其特征在于，检测装置包括固定架(9)，所述固定架(9)上设置有成像摄像头(10)和显示屏(11)，所述成像摄像头(10)与显示屏(11)电性相连。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆全自动取粒机，其特征在于，所述成像摄像头(10)的下方设置有无影灯环(12)，所述转动电机(5)输出端到无影灯环(12)圆心的水平距离与取料臂(6)的长度相同。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆全自动取粒机，其特征在于，所述取料移动装置包括取料纵向电动丝杆(13)，所述取料纵向电动丝杆(13)位于放置台(2)的一侧，所述取料纵向电动丝杆(13)上连接有取料纵向滑块(14)，所述取料纵向电动丝杆(13)的外侧设置有取料纵向槽，所述取料纵向槽的开口端朝向放置台(2)一侧设置，所述纵向滑块的外侧壁垂直连接有取料横向电动丝杆(15)，所述取料横向电动丝杆(15)上连接有取料横向滑块(16)，所述取料横向电动丝杆(15)的外侧设置有取料横向槽，所述取料横向槽的开口端朝向放置台(2)一侧设置，所述放置台(2)的侧壁边缘与取料横向滑块(16)的外侧壁连接。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆全自动取粒机，其特征在于，所述放置台(2)上设置有固定筒(17)，所述固定筒(17)的上端设置有卡合槽，所述放置台(2)上转动连接有若干螺纹柱(18)，所述固定筒(17)的外壁设置有供螺纹柱(18)螺纹连接的连接板(19)，所述螺纹柱(18)的下端均设置有齿纹轮(20)，所述放置台(2)上设置有制动轮(21)，所述制动轮(21)连接有制动电机(22)，各所述齿纹轮(20)和制动轮(21)上套置有齿条带(23)，所述制动电机(22)与PLC控制箱(8)电性连接。

6.根据权利要求5所述的一种晶圆全自动取粒机，其特征在于，所述放置台(2)上设置有调节气缸(24)，所述调节气缸(24)的活塞杆末端与齿条带(23)的外侧壁相抵。

7.根据权利要求5所述的一种晶圆全自动取粒机，其特征在于，所述固定筒(17)下方的放置台(2)镂空设置，所述工作台(1)上设置有支撑气缸(25)，所述支撑气缸(25)的活塞杆竖直向上设置，所述活塞杆的末端设置有支撑块，所述支撑块位于无影灯环(12)圆心的正下方，所述支撑气缸(25)与PLC控制箱(8)电性连接。

8.根据权利要求7所述的一种晶圆全自动取粒机，其特征在于，所述支撑块的外侧套置有弱电丝，所述弱电丝的末端一侧串联有电流表(26)和供电瓶(27)，所述电流表(26)与PLC控制箱(8)电性相连。