[发明专利]柔性封装基板轮廓、线宽线距缺陷检测方法及介质和设备有效

专利信息
申请号: 202110218079.5 申请日: 2021-02-26
公开(公告)号: CN112819845B 公开(公告)日: 2023-10-27
发明(设计)人: 罗家祥;李巍;鲁思奇 申请(专利权)人: 华南理工大学
主分类号: G06T7/13 分类号: G06T7/13;G06T7/11;G06T7/136;G06T7/194;G06T7/181;G06T5/00;G06T5/20;G06T7/00
代理公司: 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 代理人: 郑浦娟
地址: 510640 广*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 柔性 封装 轮廓 线宽线距 缺陷 检测 方法 介质 设备
【权利要求书】:

1.一种柔性封装基板轮廓检测方法,其特征在于,步骤包括:

获取需要检测的柔性封装基板图像O,作为初始引导图像;

针对柔性封装基板图像O,采用变尺度迭代引导滤波进行纹理去除和边缘保持平滑处理,得到滤波后的图像Q;

针对于滤波后的图像Q,采用大津法的自适应阈值分割算法进行处理,并进行八邻域连接,得到轮廓图像E。

2.根据权利要求1所述的柔性封装基板轮廓检测方法,其特征在于,针对柔性封装基板图像O,采用变尺度迭代引导滤波进行纹理去除和边缘保持平滑处理的具体过程如下:

步骤S11、首先将选取的柔性封装基板图像O的大小统一调整为N×N像素,确定尺度空间参数的初始值r0

其中,r0为尺度空间参数的初始值,T为迭代总数,N为原始图像O的边长;

步骤S12、以线性形式r=k(t-1)+r0减小尺度空间参数r,k0;其中,t为当前迭代次数,t=1,2…T,r0为尺度空间参数的初始值,k为预先设定的参数;将t-1迭代得到的滤波图像作为第t次滤波的引导图像,对原始图像O进行引导滤波处理;当t=1时,引导图像为原始图像O;

步骤S13、重复执行步骤S12,当迭代次数t达到迭代总数T时,滤波结束,得到最终滤波后的图像Q。

3.根据权利要求1所述的柔性封装基板轮廓检测方法,其特征在于,针对于滤波后的图像Q,处理得到轮廓图像E的具体步骤如下:

步骤S21、首先将柔性封装基板图像Q进行灰度化得到灰度图;

步骤S22、对步骤S21中的灰度图采用OTSU阈值分割,得到最佳阈值Tgood,用以区分前景背景;

步骤S23、用Canny边缘检测算子提取轮廓,设置Canny边缘算子的高低阀值,分别为max和min;其中min为步骤S22中确定的最佳阈值Tgood,经Canny边缘检测得到轮廓图E′;

步骤S24、对轮廓图E′进行八邻域连接得到轮廓图E。

4.一种柔性封装基板线宽线距缺陷检测方法,其特征在于,步骤包括:

针对于需要检测的柔性封装基板,通过权利要求1~3中任一项所述的性封装基板轮廓检测方法获取到轮廓图像E;

对轮廓图像E进行轮廓提取,得到轮廓集合Uc,对轮廓集合Uc中的每条轮廓进行分段直线拟合,得到轮廓集合Uc所对应的拟合直线集合Ul=(Ul1,Ul2…Uli…Uln),其中Uli表示轮廓i对应的拟合直线序列,n表示轮廓个数;

对拟合直线序列Ul中的拟合直线,按照斜率进行排序,形成直线序列

对于直线序列中的拟合直线,按照各拟合直线的顺序以及斜率的偏差归集成多个子序列;

针对各子序列中的直线,重新按照截距排序,根据截距计算相邻直线即直线对之间的距离Dnb,根据Dnb大小判定该直线对之间的距离类型为线宽还是线距,将Dnb作为该直线对所对应轮廓间的标准线宽或线距;

针对于轮廓图E中的轮廓i,从起点开始逐个计算当前轮廓点与拟合直线序列Uli中该点所对应拟合直线的距离D1,以及与下一条轮廓线i+1之间的距离D2;根据D1判定轮廓i上是否存在缺口缺陷,根据D2的大小更新最大最小值;遍历完成后,确定最值线宽或线距。

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