[发明专利]一种玻璃基材金属化结合强度提高的结构及其方法在审
申请号: | 202110219178.5 | 申请日: | 2021-02-26 |
公开(公告)号: | CN112951800A | 公开(公告)日: | 2021-06-11 |
发明(设计)人: | 崔成强;杨斌;罗绍根 | 申请(专利权)人: | 广东芯华微电子技术有限公司;广东佛智芯微电子技术研究有限公司 |
主分类号: | H01L23/498 | 分类号: | H01L23/498;H01L23/15;H01L23/13;H01L21/48 |
代理公司: | 广州鼎贤知识产权代理有限公司 44502 | 代理人: | 刘莉梅 |
地址: | 528225 广东省佛山市南海区狮山镇南*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 玻璃 基材 金属化 结合 强度 提高 结构 及其 方法 | ||
1.一种玻璃基材金属化结合强度提高的结构,其特征在于,包括玻璃基材、形成于所述玻璃基材上的粗化结构、形成于所述粗化结构上的涂层和制作于所述涂层上的金属线路;
所述粗化结构通过对玻璃基材进行结构化处理形成;
所述涂层通过提供含氮硅烷偶联剂,对所述含氮硅烷偶联剂进行水解处理制得水解产物,将所述水解产物涂覆于形成有粗化结构的玻璃基材表面形成。
2.根据权利要求1所述的玻璃基材金属化结合强度提高的结构,其特征在于,所述粗化结构为金字塔状、梯田状、倒碗状或凹坑状。
3.根据权利要求1所述的玻璃基材金属化结合强度提高的结构,其特征在于,所述结构化处理的步骤为:所述玻璃基材经清洗后,采用刻蚀液进行浸泡,间隔3s转换一次方向,时间1-20min,得到具有粗化结构的玻璃基材。
4.根据权利要求1所述的玻璃基材金属化结合强度提高的结构,其特征在于,所述含氮硅烷偶联剂为结构式(1)所示的苯并咪唑基三乙氧基硅烷,或者结构式(2)所示的2-甲基咪唑基三乙氧基硅烷;
5.根据权利要求1所述的玻璃基材金属化结合强度提高的结构,其特征在于,所述含氮硅烷偶联剂水解采用的水解剂为A-水,其中,A为醋酸、乙醇、甲醇、甲苯中的任一种;
优选地,A与水的体积比为9:1;
所述含氮硅烷偶联剂在所述水解剂中的浓度为1~50%。
6.根据权利要求4所述的玻璃基材金属化结合强度提高的结构,其特征在于,所述苯并咪唑基三乙氧基硅烷采用以下制备方法制得:
S10a、将γ-氨丙基三乙氧基硅烷溶于甲苯溶液中,然后与苯并咪唑混合;
S20a、加入催化剂1,3-二乙烯基-1,1,3,3-四甲基二硅氧烷铂(0),升温至50~70℃并搅拌,以蒸馏出多于的甲苯;
S30a、采用提取剂提取出未反应的γ-氨丙基三乙氧基硅烷,制得苯并咪唑基三乙氧基硅烷。
7.根据权利要求6所述的玻璃基材金属化结合强度提高的结构,其特征在于,所述γ-氨丙基三乙氧基硅在所述甲苯溶液中的浓度为1~50%,所述苯并咪唑的浓度为1~50%,所述催化剂1,3-二乙烯基-1,1,3,3-四甲基二硅氧烷铂(0)的浓度为1~10%;
优选地,所述γ-氨丙基三乙氧基硅烷、所述甲苯、所述苯并咪唑与所述1,3-二乙烯基-1,1,3,3-四甲基二硅氧烷铂(0)的质量比为10:10:10:3。
8.根据权利要求4所述的玻璃基材金属化结合强度提高的结构,其特征在于,所述2-甲基咪唑基三乙氧基硅烷采用以下制备方法制得:
S10b、将γ-氨丙基三乙氧基硅烷溶解于甲苯溶液中,然后加入2-甲基咪唑;
S20b、在水浴中升温至50~70℃并搅拌,制得2-甲基咪唑基三乙氧基硅烷。
9.根据权利要求8所述的玻璃基材金属化结合强度提高的结构,其特征在于,所述γ-氨丙基三乙氧基硅烷在甲苯溶液中的浓度为1~50%,所述2-甲基咪唑的浓度1~50%;
优选地,所述γ-氨丙基三乙氧基硅烷、所述甲苯与所述2-甲基咪唑的质量比为1:1:1。
10.一种玻璃基材金属化结合强度提高的方法,其特征在于,形成如权利要求1-9任一项所述的玻璃基材金属化结合强度提高的结构,包括:
对所述玻璃基材进行结构化处理,形成具有粗化结构的玻璃基材;
在具有粗化结构的玻璃基材上制作涂层,形成具有涂层的玻璃基材;
以及,在具有涂层的玻璃基材上制作金属线路。
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