[发明专利]一种基于应力变化的微振动探测器

权利要求书

1.一种基于应力变化的微振动探测器，其特征在于，包括反铁磁层、钉扎层、势垒层、自由层、弹性部，所述反铁磁层的材料为硬磁反铁磁材料，所述钉扎层置于所述反铁磁层上，所述钉扎层的材料为自旋性极化率高的金属或半金属，所述势垒层置于所述钉扎层上，所述自由层置于所述势垒层上，所述自由层的材料为磁各向异性弱的软磁材料，所述自由层内设有周期性排布的孔洞，所述弹性部置于所述孔洞内，所述弹性部凸出所述孔洞。

2.如权利要求1所述的基于应力变化的微振动探测器，其特征在于：所述孔洞为圆柱形，所述弹性部的侧面与所述孔洞的侧面贴合。

3.如权利要求2所述的基于应力变化的微振动探测器，其特征在于：所述孔洞排布的周期为方形周期。

4.如权利要求3所述的基于应力变化的微振动探测器，其特征在于：所述弹性部的材料为二氧化硅。

5.如权利要求3所述的基于应力变化的微振动探测器，其特征在于：所述弹性部的材料为压电材料。

6.如权利要求1-5任一项所述的基于应力变化的微振动探测器，其特征在于：所述弹性部的底部置于所述自由层内。

7.如权利要求6所述的基于应力变化的微振动探测器，其特征在于：所述自由层的材料为NiFe合金、CoFe合金、CoFeB合金。

8.如权利要求7所述的基于应力变化的微振动探测器，其特征在于：所述钉扎层的材料为Co、Fe、CoFe、CoFeB、CoFeAl合金。

9.如权利要求8所述的基于应力变化的微振动探测器，其特征在于：所述反铁磁层的材料为IrMn、PtMn、FeMn。

10.如权利要求9所述的基于应力变化的微振动探测器，其特征在于：所述势垒层的材料为氧化铝或氧化镁。