[发明专利]一种基于模板匹配法的MEMS面内动态特性分析方法

权利要求书

1.一种基于模板匹配法的MEMS面内动态特性分析方法，其特征在于,包括如下步骤：

S1、手动选取模板，选取MEMS器件运动视频的其中一帧图像，并选取该图像中的部分区域作为模板与输入的图像进行匹配；

S2、将模板和输入的图像同时放大相同的倍数；

S3、进行模板匹配定位；

S4、计算相邻两帧图像之间的位移。

2.根据权利要求1所述的基于模板匹配法的MEMS面内动态特性分析方法，其特征在于：所述步骤S1中，选取模板时，模板应包含尽量多的边缘信息。

3.根据权利要求1所述的基于模板匹配法的MEMS面内动态特性分析方法，其特征在于，所述步骤S2中，将模板和输入的图像同时放大100倍。

4.根据权利要求1所述的基于模板匹配法的MEMS面内动态特性分析方法，其特征在于：所述步骤S2中，利用Open CV库中提供的图像尺寸调整的函数Resize函数对每帧图像和模板图像进行放大。

5.根据权利要求1所述的基于模板匹配法的MEMS面内动态特性分析方法，其特征在于，所述步骤S3的具体方法如下：

使用matchTemplate函数在输入图像中从左到右、从上到下的滑动寻找各个位置区块与模板图像的相似度，将matchTemplate函数的相似度寻找结果保存到result图像中，result图像的每一点处的亮度表示该处输入图像与模板图像的匹配程度，得到result图像后，用函数minMaxLoc利用标准化协方差相关法进行像素级定位，定位亮度最大值找到最佳匹配点，得到像素级匹配位置(i，j)。

6.根据权利要求1所述的基于模板匹配法的MEMS面内动态特性分析方法，其特征在于，所述步骤S4的具体方法如下：

将定位后将像素匹配位置缩小与步骤S2相应的倍数，得到精确到小数点后两位的粗略的亚像素级位置(x0，y0)；

设在第i时刻的匹配位置为(xi，yi)(i＝1,2,3…N，其中N为视频帧的总数)则第i时刻视频帧相对于第i-1时刻的视频帧的面内位移为：

(x，y)＝(xi，yi)-(xi-1，yi-1)。