[发明专利]一种探针卡固持器

说明书

本发明属于探针卡技术领域，尤其涉及一种探针卡固持器，包括：底座、升降台、探针卡板、卡板切换结构和卡板连接结构，所述底座上滑动设置有升降台，升降台上设置有卡板切换结构，所述的探针卡板上设置有探针卡，且探针卡板通过卡板连接结构与检测电路连接，通过若干卡板架，形成一个探针卡库，通过升降台的上下移动，实现不同探针卡的选择，通过随升降台移动的卡板切换结构对探针卡板进行取放，取出的探针卡板随着升降台移动至底部后通过卡板连接结构，将探针卡与检测电路连接，由于通过探针卡库和升降台进行选择的方式，使固持器能够在多个探针卡之间进行切换，增加了在检测中固持器的适应性。

技术领域

本发明属于探针卡技术领域，尤其涉及一种探针卡固持器。

背景技术

随着半导体工业的发展，越来越多的电子装置被接入在半导体晶圆上，在半导体器件的制作过程中，将探针与半导体晶圆上的金属端接触，实现临时的电连接，使测试仪的电信号通过探针传输到半导体器件，测试仪通过返回的电信号对半导体晶圆上的电子装置进行检测。

探针卡是连接半导体晶圆与测试仪之间的纽带，通过将多个探针集成在探针卡上，使多个探针同时与半导体晶片上的多个半导体器件同时接触，提高检测效率。

在半导体器件的生产过程中，需要多次对一个或多个装置内的大量电路触点进行访问，通过移动机构对探针卡进行移动，使探针与触点接触，同时，为匹配检测过程中的多组触点，探针卡需要设置多个，由固持器对探针卡进行固定，固持器为能够旋转的多面体，通过在每个面上设置一个或多个探针卡，在需要切换探针卡时，通过转动固持器，将对应的探针卡转动至半导体器件上方进行检测，或者设置多个可移动的平台对探针卡进行移动，实现探针卡与不同触点组的匹配，现有技术中，为了实现多组触点的检测，采用了对探针卡的互换来实现匹配，通过切换不同的探针卡来实现匹配，现有的固持器采用的多面体和移动平台结构，无法设置多个探针卡，可切换的数量有限。

发明内容

本发明克服了上述现有技术的不足，提供了一种探针卡固持器，能够设置多个探针卡，使固持器满足多个探针卡的切换需要。

本发明的技术方案：

一种探针卡固持器，包括：底座、升降台、探针卡板、卡板切换结构和卡板连接结构，所述底座上滑动设置有升降台，升降台上设置有卡板切换结构，所述的探针卡板上设置有探针卡，且探针卡板通过卡板连接结构与检测电路连接；

所述底座包括：底座板、立板和卡板架，所述底座板上固定连接有立板，立板的正面固定连接有若干个卡板架，卡板架上设置有探针卡板容纳槽，该探针卡板容纳槽的外侧设置有开口；

所述升降台包括：升降台滑轨、升降台滑块和升降台板，所述升降台滑轨设置在立板的背面，所述升降台滑块滑动设置在升降台滑轨上，所述升降台板的中间设置有过孔，且升降台板套设在立板上，升降台板与升降台滑块固定连接，所述升降台板中间的过孔能够容纳所述卡板架，且该过孔与卡板架相对的一侧为卡板承托区，该卡板承托区内侧与所述卡板架外侧对应设置有开口；

所述探针卡板包括：卡板体，所述卡板体的外侧设置有若干个与所述探针卡的探针对应连接的插口；

所述卡板切换结构包括：卡板移动架、移动卡块和固定卡块，所述卡板移动架滑动设置在升降台板上，卡板移动架的内侧设置有移动卡块，移动卡块上开设有纵向设置的过孔，该过孔方向上设置有固定卡块，且固定卡块固定连接在探针卡板上；

所述卡板连接结构包括：连接插头，连接插头能够与所述卡板体外侧的插口连接。

进一步地，所述的卡板架的上表面向内凹陷形成探针卡板容纳槽，与探针卡板容纳槽外侧开口相对的边为探针卡板定位边，该开口两侧的边与探针卡板构成滑槽结构。

进一步地，所述升降台还包括：升降电机、升降丝杆和升降丝杆滑块，所述升降电机设置在立板的顶部，与升降电机的转轴连接的升降丝杆设置在立板的背面，套设在升降丝杆上的升降丝杆滑块与升降台板固定连接。