[发明专利]传感器和电子设备有效
| 申请号： | 202110227060.7 | 申请日： | 2021-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN113029204B | 公开（公告）日： | 2023-06-23 |
| 发明（设计）人： | 安琪;冷群文;邹泉波;周汪洋;丁凯文;赵海轮;周良 | 申请（专利权）人： | 歌尔微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G01D5/12 | 分类号： | G01D5/12;G01D18/00 |
| 代理公司： | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人： | 梁馨怡 |
| 地址： | 266100 山东省青岛市崂*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 传感器 电子设备 | ||
1.一种传感器，应用于电子设备，其特征在于，包括衬底、支撑部以及振膜，所述支撑部连接于所述衬底和所述振膜之间，传感器还包括：
固定部，所述固定部设于所述衬底；
振动部，所述振动部连接所述固定部，并可相对所述固定部往复振动；所述振动部设于所述振膜；
永磁体，所述永磁体设于所述振动部，并跟随所述振动部振动；
功能传感器，所述功能传感器设于所述固定部，所述功能传感器被配置为在所述振动部振动过程中感应所述永磁体的磁场变化，而输出变化的电信号；以及
校准传感器，所述校准传感器设于所述振动部，并跟随所述振动部振动，所述校准传感器被配置为感应所述永磁体的磁场，而对所述功能传感器输出的电信号进行修正；
所述永磁体的磁极方向与所述振动部所在平面平行，所述校准传感器的钉扎方向与所述振动部所在平面平行；
或，所述永磁体的磁极方向与所述振动部所在平面垂直，所述校准传感器的钉扎方向与所述振动部所在平面垂直。
2.如权利要求1所述的传感器，其特征在于，所述校准传感器与所述永磁体设置于所述振动部的同一表面。
3.如权利要求2所述的传感器，其特征在于，所述校准传感器的中心与所述永磁体的中心相对所述振动部的距离一致。
4.如权利要求1所述的传感器，其特征在于，所述功能传感器为两个，两所述功能传感器相对所述永磁体对称设置；
定义两所述功能传感器的中心连线为第一方向，定义所述校准传感器的中心与所述永磁体的中心连线为第二方向，所述第一方向与所述第二方向垂直。
5.如权利要求1至4中任意一项所述的传感器，其特征在于，所述固定部围设于所述振动部的外侧，所述振动部的一端连接所述固定部，形成悬臂结构。
6.如权利要求1至4中任一项所述的传感器，其特征在于，所述校准传感器为至少两个，至少一所述校准传感器的钉扎方向与所述振动部所在平面平行，至少一所述校准传感器的钉扎方向与所述振动部所在平面垂直，所述永磁体的磁极方向与所述振动部所在平面平行或垂直。
7.如权利要求1所述的传感器，其特征在于，所述支撑部围合所述振膜和所述衬底形成密封或开放的空间。
8.一种电子设备，其特征在于，包括如权利要求1至7中任一项所述的传感器。
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