[发明专利]一种检测设备及光学检测方法

说明书

本发明公开了一种检测设备及光学检测方法，检测设备包括功能外箱、减震台架、平台模组和光学检测装置；平台模组包括移载装置和气浮平台；所述移载装置跨设在所述气浮平台上以对待测件在进料口与检测工位之间移送，光学检测装置包括主检相机组件、复检相机组件和定位相机组件。光学检测方法包括放料初定位、待测件进料、检测定位、图谱匹配并初检、复检获取检测结果、检测完成并退料。设备通过主检相机组件、复检相机组件、定位相机组件执行检测方法，实现对不同规格待测件的定位、初检和复检，定位导航准确，台架吸振性好，设备成本低检测效率和精度高，提高了整机的功能集成度，整机故障率低且便于维护。

技术领域

本发明涉及检测设备及其零部件技术，尤其涉及一种检测设备及光学检测方法。

背景技术

对于computer-计算机、通信-communication、消费类电子产品-consumerelectronics等3C产品的主板及显示器(如FPC、flexible printed circuit，柔性印刷电路板，FPD、flat panel display-平板显示器)的制造过程中，需要对各工艺过程中的零部件进行检测，而这类检测中用的最多的是光学检测设备。其基本构造包括进料、检测、下料等，以此完成对待测件的缺陷检测和/或尺寸测量等。

然而，随着检测设备越来越高的精度要求和多功能集成要求，如现有技术中，面对大面积待测件，FPD板等的检测，目前的方案是采用线排多个CCD相机的方式，这显然造成了成本的大幅增加；另一方案为采用单个相机加拖链实现往复运动进行图像扫描检测，这种方式对往复运动的速率要求太高；上述方案单一，对精密检测的高精度要求无法满足，且对于拖链往复运动的模式，待测件无法确保定位高精度，也造成检测精度的降低。

此外，传统的传送机构容易对待测件产生划痕，且采用气动方式容易造成机台与外罩的震动，导致精度降低。大幅面采用多排多列矩阵排布的吸嘴，容易对待测件基板留下印痕。

再者，传统的定位导航仅采用机械靠位机构，精度达不到要求。

因此，针对大幅面的待测件基板，亟需一种低成本、多功能、高精度的检测设备。

发明内容

为了克服现有技术的不足，本发明的目的在于提供一种检测设备及光学检测方法，其能解决上述问题。

本发明的目的采用以下技术方案实现：

一种检测设备，检测设备包括功能外箱、减震台架、平台模组和光学检测装置；其中，所述减震台架、平台模组和光学检测装置非刚性连接或间隔的设置在所述功能外箱内；所述平台模组和光学检测装置设置在所述减震台架上；所述平台模组设置在所述减震台架上，所述平台模组包括移载装置和气浮平台；所述移载装置跨设在所述气浮平台上以对待测件在进料口与检测工位之间移送，气浮平台用于待测件的气浮承载及定位，且平台模组的浮动平面度为±20μm；所述光学检测装置设置在所述平台模组检测工位的上方，用于待测件的检测；其中所述光学检测装置包括主检相机组件、复检相机组件和定位相机组件，用于待测件的定位、初检和复检。

优选的，所述功能外箱包括外架箱、电控箱组件、气控箱组件和操作端组件，所述外架箱为三排双段箱体结构，左排为进出料位，中排为检测位，右排为电气供给位，上段为操控检测段，下段为控制柜段；其中，在所述外架箱上集成设置所述电控箱组件、气控箱组件和操作端组件；在外架箱左端设为进料位，所述电控箱组件设置在外架箱后端下段内侧，所述气控箱组件嵌设在外架箱右端面，所述操作端组件嵌设在外架箱前端左上段。