[发明专利]沉积装置和用于使用沉积装置检查喷嘴的方法

说明书

本申请涉及沉积装置和用于使用沉积装置检查喷嘴的方法。检查喷嘴的方法包括：测量喷嘴的温度；将喷嘴的温度与基准温度比较；基于喷嘴的温度确定喷嘴是否被堵塞。

相关申请的交叉引用

本申请要求于2020年3月5日向韩国知识产权局提交的韩国专利申请No.10-2020-0027630的优先权和权益，其内容通过引用以其整体并入本文中。

技术领域

本发明的一些示例实施例的各方面涉及一种沉积装置以及用于使用沉积装置检查喷嘴的方法。

背景技术

有机发光显示设备是其中从阴极注入的电子和从阳极注入的空穴重新结合到有机薄膜以形成激子并且使用了通过来自所形成的激子的能量来生成特定波长的光的现象的显示设备。

真空沉积方法可用作用于在有机发光显示设备中沉积有机物质或用作电极的金属的方法。真空沉积方法可包括以下操作：将要在其上形成有机薄膜的基板放置在真空室内部；附接具有与要形成的薄膜相同的图案的沉积掩模；以及然后，使用沉积源单元来蒸发或升华诸如有机材料的沉积材料以将其沉积在基板上。

在此背景技术部分中公开的以上信息仅用于增强对背景的理解，并且因此，在此背景技术部分中讨论的信息不一定构成现有技术。

发明内容

本发明的一些示例实施例的各方面包括一种包括能够通过测量喷嘴单元的温度来检查喷嘴是否被堵塞的喷嘴检查单元的沉积装置以及一种用于使用沉积装置检查喷嘴是否被堵塞的方法。

本发明的一些示例实施例的各方面还可包括一种沉积装置，该沉积装置可通过将激光选择性地照射已发生喷嘴堵塞的喷嘴来清除喷嘴的堵塞。

然而，根据本发明的实施例的各方面不限于本文中所阐述的那些。通过参照以下给出的本发明的详细描述，本发明的上述和其他方面对于本发明所属领域的普通技术人员将变得更加显而易见。

根据一些示例实施例的用于检查喷嘴的方法包括：测量喷嘴的温度；以及将喷嘴的温度与基准温度进行比较，以确定喷嘴是否被堵塞。

根据一些示例实施例，用于检查喷嘴的方法包括：当确定喷嘴被堵塞时，清除喷嘴的喷嘴堵塞。

根据一些示例实施例，在清除喷嘴堵塞中，使用激光器向喷嘴照射激光束。

根据一些示例实施例，确定喷嘴是否被堵塞还包括：当喷嘴的温度不低于基准温度时，确定喷嘴未被堵塞。

根据一些示例实施例，一种用于检查喷嘴的方法包括：通过热成像相机拍摄喷嘴以生成包括喷嘴的温度信息的热图像数据，并且基于热图像数据确定喷嘴是否被堵塞。

根据一些示例实施例，确定喷嘴是否被堵塞包括：将根据热图像数据来展示喷嘴的颜色与展示基准温度的颜色进行比较。

根据一些示例实施例，确定喷嘴是否被堵塞还包括：当展示喷嘴的颜色是展示低于基准温度的温度的颜色时，确定喷嘴被堵塞。

根据一些示例实施例，确定喷嘴是否被堵塞包括根据热图像数据计算喷嘴的温度；并且将计算出的喷嘴的温度与基准温度进行比较。

根据一些示例实施例，确定喷嘴是否被堵塞还包括当计算出的喷嘴的温度低于基准温度时确定喷嘴被堵塞。

根据一些示例实施例，当确定喷嘴被堵塞时，清除喷嘴的喷嘴堵塞。

依据根据本公开的一些示例实施例，一种沉积装置包括：沉积源，包括沿一方向布置的至少一个喷嘴；温度测量单元，用于测量喷嘴的温度；以及确定单元，用于基于温度测量单元的测量数据确定喷嘴是否被堵塞。

根据一些示例实施例，温度测量单元包括热成像相机，热成像相机用于拍摄喷嘴以生成热图像数据，其中，热成像相机布置成与喷嘴间隔开。