[发明专利]用于处理超薄玻璃的设备和用于处理超薄玻璃的方法

权利要求书

1.一种用于处理超薄玻璃的设备，所述设备包括：

载物台，配置成支撑超薄玻璃；

转移部件，配置成将所述超薄玻璃转移到所述载物台上；

粘合片设置部件，配置成将粘合片设置到由所述载物台支撑的所述超薄玻璃上；以及

按压部件，配置成在设置在所述超薄玻璃上的所述粘合片上提供按压力，其中所述超薄玻璃和所述粘合片交替地层压以形成超薄玻璃层压体。

2.根据权利要求1所述的用于处理超薄玻璃的设备，其中所述粘合片设置部件包括：

片支撑件，配置成支撑所述粘合片，在所述粘合片中，第一保护膜和第二保护膜分别设置在彼此相对的第一表面和第二表面上；

膜去除构件，配置成去除所述第一保护膜和所述第二保护膜中的至少任一个；以及

支撑件驱动部件，配置成驱动所述片支撑件。

3.根据权利要求1所述的用于处理超薄玻璃的设备，进一步包括位置对准部件，所述位置对准部件配置成对准所述超薄玻璃在所述载物台上的位置。

4.根据权利要求1所述的用于处理超薄玻璃的设备，进一步包括表面改性部件，所述表面改性部件配置成向安置在多个所述超薄玻璃之间的所述粘合片提供具有预定波长的光和具有预定温度的热中的至少任一种，

其中所述粘合片因具有所述预定波长的所述光和具有所述预定温度的所述热中的至少任一种而失去粘合力。

5.根据权利要求4所述的用于处理超薄玻璃的设备，其中所述表面改性部件通过提供具有所述预定波长的所述光和具有所述预定温度的所述热中的至少任一种来固化所述粘合片。

6.根据权利要求1所述的用于处理超薄玻璃的设备，进一步包括加工部件，所述加工部件配置成加工所述超薄玻璃层压体。

7.根据权利要求6所述的用于处理超薄玻璃的设备，进一步包括分离部件，所述分离部件配置成按每一片将多个所述超薄玻璃与经过处理的超薄玻璃层压体分离。

8.根据权利要求1所述的用于处理超薄玻璃的设备，其中所述超薄玻璃具有在10微米到150微米范围内的厚度。

9.根据权利要求1所述的用于处理超薄玻璃的设备，其中所述超薄玻璃层压体通过层压两个到五十个超薄玻璃来形成。

10.根据权利要求1所述的用于处理超薄玻璃的设备，其中所述粘合片的面积小于所述超薄玻璃的面积。

11.一种用于处理超薄玻璃的方法，所述方法包括：

在载物台上支撑第一超薄玻璃；

将粘合片设置到由所述载物台支撑的所述第一超薄玻璃上；

将第二超薄玻璃设置到所述粘合片上；以及

将按压力提供到所述第一超薄玻璃和所述第二超薄玻璃中的至少任一个上，

其中所述第一超薄玻璃和所述第二超薄玻璃通过所述粘合片层压以形成超薄玻璃层压体。

12.根据权利要求11所述的用于处理超薄玻璃的方法，其中所述设置所述粘合片包括：

由片支撑件支撑所述粘合片，在所述粘合片中，第一保护膜和第二保护膜分别设置在彼此相对的第一表面和第二表面上；

去除所述第一保护膜和所述第二保护膜当中的暴露于所述粘合片上方的任何一个保护膜；以及

通过驱动所述片支撑件在所述第一超薄玻璃上提供所述粘合片的所述第一表面和所述第二表面中的从其中去除所述保护膜的表面。

13.根据权利要求12所述的用于处理超薄玻璃的方法，进一步包括从设置到所述第一超薄玻璃上的所述粘合片去除其余保护膜。

14.根据权利要求11所述的用于处理超薄玻璃的方法，进一步包括加工所述超薄玻璃层压体。