[发明专利]抗蚀刻组合物

权利要求书

1.一种抗蚀刻组合物，其特征在于，包含：

树脂组分；以及

溶剂组分，其具有第一溶剂及第二溶剂，且第一溶剂的闪火点为60℃以上，第二溶剂的闪火点小于60℃，

其中以100重量份的抗蚀刻组合物计，溶剂组分的含量为30重量份至70重量份；以溶剂组分总重量计，第二溶剂的含量为1重量%至30重量%；以及该抗蚀刻组合物的闪火点为60℃以上，且该树脂组分选自以下群组：丙烯酸系树脂、酚醛树脂、环氧树脂及其组合。

2.如权利要求1所述的抗蚀刻组合物，其特征在于，其中第一溶剂选自以下群组且闪火点为60℃以上的溶剂：酯类、醚类、酰胺类及其组合。

3.如权利要求2所述的抗蚀刻组合物，其特征在于，其中该醚类溶剂选自亚烷二醇单烷基醚类，且该酯类溶剂选自亚烷二醇单烷基醚乙酸酯类、羧酸烷基酯类及内酯类。

4.如权利要求3所述的抗蚀刻组合物，其特征在于，其中该第一溶剂选自以下群组：二丙二醇单甲基醚、丙二醇单正丁基醚、丙二酸二甲酯、丙二酸二乙酯、丁二酸二甲酯、戊二酸二甲酯、己二酸二甲酯、N-甲基吡咯烷酮、N,N-二甲基乙酰胺、γ-丁内酯、N,N,N',N'-四甲基脲及其组合。

5.如权利要求4所述的抗蚀刻组合物，其特征在于，其中该第一溶剂选自以下群组：二丙二醇单甲基醚、N-甲基吡咯烷酮、丙二酸二甲酯及其组合。

6.如权利要求1所述的抗蚀刻组合物，其特征在于，其中第二溶剂选自以下群组且闪火点小于60℃的溶剂：酯类、醚类、酰胺类及其组合。

7.如权利要求6所述的抗蚀刻组合物，其特征在于，其中该醚类溶剂选自亚烷二醇单烷基醚类，且该酯类溶剂选自亚烷二醇单烷基醚乙酸酯类、羧酸烷基酯类及内酯类。

8.如权利要求7所述的抗蚀刻组合物，其特征在于，其中该第二溶剂选自以下群组：丙二醇单甲基醚乙酸酯、丙二醇单甲基醚、丙醇、异丁醇、二丁醇、正戊醇、异戊醇、正丁醚、苯甲醚、2-己酮、2-庚酮、3-庚酮、环己酮、甲酸正戊酯、乙酸丁酯、乙酸正戊酯、丙酸异丁酯、丙酸戊酯、丁酸乙酯、丁酸丙酯、丁酸丁酯及其组合。

9.如权利要求8所述的抗蚀刻组合物，其特征在于，其中该第二溶剂选自以下群组：丙二醇单甲基醚乙酸酯、丙二醇单甲基醚及其组合。

10.如权利要求1至9中任一项所述的抗蚀刻组合物，其特征在于，其中第一溶剂的闪火点为60℃至110℃，且第二溶剂的闪火点为20℃至55℃。

11.如权利要求1至9中任一项所述的抗蚀刻组合物，其特征在于，其中该树脂组分是丙烯酸系树脂。

12.如权利要求11所述的抗蚀刻组合物，其特征在于，其中该丙烯酸系树脂包含衍生自（甲基）丙烯酸的重复单元，以及包含衍生自（甲基）丙烯酸甲酯与苯乙烯的至少一种的重复单元。

13.如权利要求1至9中任一项所述的抗蚀刻组合物，其特征在于，还包含一含有乙烯型不饱和官能基或环氧官能基的单体。

14.如权利要求1至9中任一项所述的抗蚀刻组合物，其特征在于，还包含硬化剂。

15.如权利要求14所述的抗蚀刻组合物，其特征在于，其中该硬化剂是光引发剂。

16.如权利要求1至9中任一项所述的抗蚀刻组合物，其特征在于，还包含选自以下群组的助剂：稳定剂、流平剂、消泡剂、防缩孔剂、附着力促进剂、表面爽滑剂及其组合。

17.如权利要求1至9中任一项所述的抗蚀刻组合物，其特征在于，其中该抗蚀刻组合物在常温常压下为液态。