[发明专利]中空纤维膜组件

说明书

本发明提供一种中空纤维膜组件。中空纤维膜组件(100)包括：多个中空纤维膜(10)；容器(20)，其收纳多个中空纤维膜(10)；以及供给水入口(201)，其以供给水向容器(20)的内部的流入方向与多个中空纤维膜(10)的长度方向平行的方式设于容器(20)的一端部。0.1MPa的膜间压差时的中空纤维膜(10)的渗透通量为850升/m²/h以上。

技术领域

本发明涉及一种中空纤维膜组件。

背景技术

在半导体器件的制造中，大量的超纯水是不可欠缺的。超纯水能够利用具备中空纤维膜组件的水处理系统制造。中空纤维膜组件配置于水处理系统的规定的位置，主要贡献于对半导体器件的制造带来较大的阻碍的细颗粒的去除。

为了去除中空纤维膜的表面的污垢(fouling)、附着于中空纤维膜的表面的细颗粒、积存于容器的内部的细颗粒等异物，有时对中空纤维膜组件进行清洗。清洗例如定期地进行。

专利文献1中公开有一种在中空纤维膜的出口侧的端部的附近设有渗透流体的紊流构件的外压型的中空纤维膜组件。专利文献2公开一种中空纤维膜组件的反洗方法。

专利文献1：日本特开平5-137972号公报

专利文献2：日本特开2016-179430号公报

发明内容

发明要解决的问题

在中空纤维膜组件的清洗过程中，来自中空纤维膜组件的超纯水的供给停止。因此，期望中空纤维膜组件的清洗所花费的时间尽可能较短。作为缩短清洗时间的方法之一，考虑增加清洗液的流量。但是，若增加流量，则中空纤维膜受到损伤的可能性也会升高。

本发明的目的在于防止中空纤维膜的损伤并且缩短中空纤维膜组件的清洗所花费的时间。

用于解决问题的方案

本发明提供一种中空纤维膜组件，其为外压型的中空纤维膜组件，其中，

该中空纤维膜组件包括：

多个中空纤维膜；

容器，其收纳所述多个中空纤维膜；以及

供给水入口，其以供给水向所述容器的内部的流入方向与所述多个中空纤维膜的长度方向平行的方式设于所述容器的一端部，

0.1MPa的膜间压差时的所述中空纤维膜的渗透通量为850升/m²/h以上。

发明的效果

本发明的中空纤维膜组件能够防止中空纤维膜的损伤并且在短时间内被充分清洗。

附图说明

图1是本发明的一实施方式的中空纤维膜组件的纵剖视图。

图2是隔板的俯视图和剖视图。

图3A是内层网和外层网的立体图。

图3B是表示内层网与外层网之间的位置关系的图。

图3C是表示内层网与外层网之间的另一位置关系的图。

图4是说明供给水的流入方向与中空纤维膜的长度方向垂直时产生的问题的图。

图5是使用了中空纤维膜组件的水处理系统的一个例子的结构图。

图6是表示清洗试验的结果的图表。

具体实施方式

以下，参照附图说明本发明的实施方式。本发明并不限定于以下的实施方式。