[发明专利]光纤光栅与介电弹性体结合的近零磁空间的主动隔振装置

权利要求书

1.一种光纤光栅与介电弹性体结合的近零磁空间的主动隔振装置，主要包括以下几部分，其特征在于：

磁屏蔽室，由多层屏蔽墙面组成，屏蔽外界磁信号；

形变测量系统，光纤光栅直接测量最内侧屏蔽墙形变量，超导量子干涉仪通过磁噪声反演得出屏蔽墙形变量；

微位移驱动控制与执行系统，主要由控制器和介电弹性体驱动器，介电弹性体致动器组成。

2.根据权利要求1所述的光纤光栅与介电弹性体结合的近零磁空间的主动隔振装置，其特征在于，形变测量系统，主要由光纤光栅与超导量子干涉仪组合而成，光纤光栅测得的墙壁形变量值与超导量子干涉仪探测到的空间内弱磁信号变化量相结合，用以测量墙面形变量的大小；基于所测形变量进行主动抑制达到隔振效果。

3.根据权利要求2所述的光纤光栅与介电弹性体结合的近零磁空间的主动隔振装置，其特征在于，形变量测试系统，以光纤光栅对形变量进行采集，形变量信号转换放大后送入控制器，驱动介电弹性体致动器动作，抑制墙面的振动，最终达到减弱磁屏蔽室内磁噪声的目的。

4.根据权利要求1所述的光纤光栅与介电弹性体结合的近零磁空间的主动隔振装置，其特征在于，微位移驱动控制与执行系统，当形变量通过测量电路后被控制器接收并进行处理，而后对介电弹性体驱动器输出一个控制信号，通过对介电弹性体驱动器输出电压的控制，进而将电压信号作用于介电弹性体致动器，通过介电弹性体控制最内层壁面形变，最终实现主动隔微振的效果。