[发明专利]近零磁空间中的基于形变测量的介电弹性体主动隔微振装置

权利要求书

1.一种近零磁空间中的基于形变测量的介电弹性体主动隔微振装置，主要包括以下几部分，其特征在于：

形变测量系统，主要由应变片和弱磁信号探测装置——SERF原子磁力仪共同组成；微位移驱动控制与执行系统，主要由控制器和介电弹性体驱动器，介电弹性体致动器组成；

磁屏蔽室提供一个近零磁环境，外部有多层屏蔽墙面，将磁屏蔽室的最内层屏蔽墙划分成横向三个等长段纵向四个等长段，共十二个等面积区域，在每个区域排布五片应变片；

形变量测试系统以测量电路对墙面的形变量进行采集，转换放大后送入控制器，驱动介电弹性体致动器动作，抑制墙面的振动，最终达到减弱磁噪声的目的；

微位移驱动控制与执行系统，当形变量通过测量电路后以电信号的形式被控制器接收，经信号处理后，对介电弹性体驱动器输出一个控制信号，通过对介电弹性体驱动器输出电压的控制，进而将电压信号作用于介电弹性体致动器，进而控制最内层壁面形变，最终实现主动隔微振的效果。

2.根据权利要求1所述的近零磁空间中的基于形变测量的介电弹性体主动隔微振装置，其特征在于，形变测量系统主要由应变片与超导量子干涉仪组合而成，应变片测得的应变值与超导量子干涉仪探测到的空间内弱磁信号变化量相结合，用以测量墙面形变量的大小；基于所测形变量进行主动抑制达到隔振效果。