[发明专利]光纤光栅与压电陶瓷结合的磁噪声抑制主动隔振装置

权利要求书

1.一种光纤光栅与压电陶瓷结合的磁噪声抑制主动隔振装置，主要包括以下几部分，其特征在于：

大型隔振装置，由柱墩、气浮隔振器、混泥土质量块共同构成；

零磁室，构成一个近零磁环境；

形变测量系统，主要由应变片和弱磁信号探测装置——超导量子干涉仪共同组成；

微位移驱动控制与执行系统，主要由控制器和压电陶瓷驱动器，压电陶瓷致动器组成；

磁屏蔽室，构成近零磁空间，外部有多层屏蔽墙面，将磁屏蔽室的最内层屏蔽墙划分成九个等面积区域，在每个区域排布五片应变片；

形变测量系统，主要由应变片与超导量子干涉仪组合而成，应变片测得的应变值与超导量子干涉仪探测到的空间内弱磁信号变化量相结合，用以测量墙面形变量的大小；基于所测形变量进行主动抑制达到隔振效果；

形变量测试系统中以应变片对墙面的形变量进行采集，转换放大后送入控制器，驱动压电陶瓷致动器动作，抑制墙面的振动，最终达到减弱磁噪声的目的；

微位移驱动控制与执行系统，当形变量通过测量电路后以电信号的形式输入到控制器中，经过信号的加工处理后，对压电陶瓷驱动器输出一个控制信号，通过对压电陶瓷驱动器输出电压的控制，进而将电压信号作用于压电陶瓷致动器，进而控制最内层壁面形变，最终实现主动隔微振的效果。