[发明专利]复合散热膜及其制备方法

权利要求书

1.一种复合散热膜，其特征在于，其包括导热中间层以及设置在所述导热中间层的相对两侧表面的第一氮化硼层，所述导热中间层包括至少一层石墨片。

2.根据权利要求1所述的复合散热膜，其特征在于，所述导热中间层还包括至少一层石墨烯层，所述石墨烯层设置在所述石墨片和所述第一氮化硼层之间。

3.根据权利要求2所述的复合散热膜，其特征在于，所述石墨烯层设置有两层，两层所述石墨烯层分别位于所述导热中间层的最外两侧。

4.根据权利要求1-3任一项所述的复合散热膜，其特征在于，所述第一氮化硼层包括氮化硼薄膜和氮化硼片，所述氮化硼薄膜为由化学气相沉积工艺制得的二维材料，所述氮化硼片通过氮化硼浆料高温烧结法制得。

5.根据权利要求4所述的复合散热膜，其特征在于，所述氮化硼薄膜的厚度为0.1-10nm，所述氮化硼片的厚度为1-50um。

6.根据权利要求2或3所述的复合散热膜，其特征在于，所述导热中间层还包括至少一层第二氮化硼层，所述石墨片和所述第二氮化硼层交替设置。

7.一种如权利要求1所述的复合散热膜的制备方法，其特征在于，包括：将所述导热中间层和所述第一氮化硼层层叠在一起进行压延处理，然后在800-1700℃的温度下进行热处理。

8.根据权利要求7所述的复合散热膜的制备方法，其特征在于，将所述导热中间层和所述第一氮化硼层层叠在一起进行压延处理的步骤包括：

采用化学气相沉积工艺在所述导热中间层的至少一个表面生长氮化硼薄膜；

将氮化硼片叠合在所述氮化硼薄膜表面后进行压延处理。

9.根本权利要求8所述的复合散热膜的制备方法，其特征在于，将所述导热中间层和所述第一氮化硼层层叠在一起进行压延处理的步骤包括：

采用化学化学气相沉积法在金属衬底表面生长氮化硼薄膜，将所述氮化硼薄膜转移至所述导热中间层的至少一个表面；

将氮化硼片叠合在所述氮化硼薄膜表面后，进行压延处理。

10.根据权利要求7-9任一项所述的复合散热膜的制备方法，其特征在于，所述导热中间层的制备步骤包括：将氧化石墨烯分散液附在所述至少一层石墨片的至少一个表面，再进行还原处理以在所述至少一层石墨片的表面形成石墨烯层。