[发明专利]石英晶体厚度检测装置

权利要求书

1.一种石英晶体厚度检测装置，其特征在于，所述石英晶体厚度检测装置包括：

检测组件，包括两个检测极板，两个所述检测极板分别为第一检测极板以及第二检测极板，两个检测极板之间用于放置待检测的石英晶片；

石英晶体检测电路，所述石英晶体检测电路分别与两个所述检测极板连接，用于检测两个检测极板之间形成的电容的振荡频率；以及

控制电路，所述控制电路的数据输入端与所述石英晶体检测电路的输出端连接，并用于根据所述振荡频率确定形成的电容的电容值，并根据所述电容值确定所述石英晶片的厚度；

所述石英晶体检测电路根据下述公式确定两个所述检测极板之间的待检测的石英晶片的厚度：

；

其中，，为500组数据所得平均容值，为寄生电容的数值，为石英晶片实际电容值，为待检测的石英晶片的厚度，j、x均为大于或等于1的自然数。

2.如权利要求1所述的石英晶体厚度检测装置，其特征在于，所述石英晶体检测电路根据下述公式确定两个所述检测极板之间的待检测的石英晶片的厚度：；

其中，为待检测的石英晶片的介电系数；为真空的介电系数；为待检测的石英晶片的相对介电系数；为第一检测极板和第二检测极板之间的有效面积；为第一检测极板和第二检测极板之间的距离；为待检测的石英晶片的标准厚度要求的最小数量单位；为待检测的石英晶片的厚度；为两个检测极板之间形成的电容。

3.如权利要求1所述的石英晶体厚度检测装置，其特征在于，两个所述检测极板均为覆铜板。

4.如权利要求1所述的石英晶体厚度检测装置，其特征在于，两个所述检测极板分别为第一检测极板以及第二检测极板，所述石英晶体检测电路包括多个第一电感、多个第一电容以及检测芯片，所述第一电感的第一端、所述第一电容的第一端与所述第一检测极板互连，其连接节点为所述检测芯片的第一检测端，所述第一电感的第二端、所述第一电容的第二端与所述第二检测极板互连，其连接节点为所述检测芯片的第二检测端。

5.如权利要求4所述的石英晶体厚度检测装置，其特征在于，所述检测芯片的型号为FDC2214。

6.如权利要求1所述的石英晶体厚度检测装置，其特征在于，所述石英晶体厚度检测装置还包括电源电路，所述电源电路的输出端与所述控制电路的电源端连接；

所述电源电路，用于为所述控制电路供电。

7.如权利要求1所述的石英晶体厚度检测装置，其特征在于，所述石英晶体厚度检测装置还包括报警电路，所述报警电路的输入端与所述控制电路的报警信号输出端连接；

所述控制电路，还用于在所述待检测的石英晶片的厚度超出预设值时，输出报警信号；

所述报警电路，用于在接收到所述报警信号时报警。

8.如权利要求4所述的石英晶体厚度检测装置，其特征在于，所述石英晶体厚度检测装置还包括按键电路，所述按键电路的输出端与所述控制电路的测量输入端连接；

所述按键电路键入模式选择指令，并在模式选择后，进行校准数据输入或者测量数据输入；

所述控制电路，用于根据所述模式选择指令切换到对应的校准模式或者测量模式，并根据所述校准数据入或者测量数据确定所述待检测的石英晶片的厚度是否超出预设值。

9.如权利要求1所述的石英晶体厚度检测装置，其特征在于，所述石英晶体厚度检测装置还包括显示电路，所述显示电路的输入/输出端与所述控制电路的输入/输出端连接；

所述显示电路，用于显示所述控制电路输出的显示信号。