[发明专利]阴极模组及真空镀膜装置

权利要求书

1.一种阴极模组，其特征在于，包括阴极单元、固定板、至少一个第一加热单元以及多个第一绝缘垫，其中：所述第一加热单元和所述阴极单元分别固定在所述固定板相对的两侧，且所述阴极单元和所述固定板之间设置有所述第一绝缘垫；

还包括衬板、第二加热单元以及多个第二绝缘垫，所述衬板垂直于所述固定板，且设置在所述阴极单元四周，所述第二加热单元固定在所述衬板背离所述阴极单元的一侧，且设置在所述阴极单元的四周，所述第二绝缘垫的一部分嵌入设置在所述阴极单元靠近所述衬板的表面，且另一部分嵌入设置在所述衬板靠近所述阴极单元的表面。

2.根据权利要求1所述的阴极模组，其特征在于，阴极模组工作温度在50℃-450℃的范围内。

3.根据权利要求1所述的阴极模组，其特征在于，所述固定板上设有沟槽，所述第一加热单元嵌设于所述沟槽，且与所述固定板铆接固定。

4.根据权利要求1所述的阴极模组，其特征在于，还包括至少一个第一热电偶，所述第一热电偶固定在所述固定板背离所述阴极单元的一侧，且靠近所述第一加热单元设置。

5.根据权利要求1所述的阴极模组，其特征在于，所述阴极单元与所述固定板之间的间隙为1mm-20mm。

6.根据权利要求1所述的阴极模组，其特征在于，所述衬板内具有至少一个第二热电偶，且所述第二热电偶靠近所述阴极单元设置。

7.根据权利要求1所述的阴极模组，其特征在于，所述第二加热单元的外侧罩设有保护壳，所述保护壳背离所述第二加热单元的外表面的材质包括铝、镍、铝合金、蒙乃尔合金的一种或多种。

8.根据权利要求1所述的阴极模组，其特征在于，所述第一加热单元和所述第二加热单元均为电阻式加热丝，或，所述第一加热单元和所述第二加热单元均包括壳体、设置在所述壳体内的热传导液以及设置于所述壳体外的外置换热器。

9.根据权利要求1所述的阴极模组，其特征在于，所述第一绝缘垫为陶瓷垫，和/或，所述第二绝缘垫为陶瓷垫。

10.根据权利要求1所述的阴极模组，其特征在于，所述衬板和所述阴极单元之间的间隙为1mm-20mm。

11.一种真空镀膜装置，包括腔体，其特征在于，还包括如权利要求1-10任一项所述的阴极模组，所述阴极单元通过贯穿所述固定板，至少部分第一绝缘垫的螺钉锁附在所述腔体的顶壁。