[发明专利]一种高透光率双疏减反射膜的制备方法

权利要求书

1.一种高透光率双疏减反射膜的制备方法，其特征在于：所述制备方法的步骤如下：

(1)将硝酸铝溶解在2-异丙氧基乙醇中，然后滴加乙醇胺作为稳定剂，制备Al₂O₃溶胶；采用溶胶凝胶法制备二氧化硅实心小球溶胶；将Al₂O₃溶胶和SiO₂溶胶按照质量比混合，再进行超声分散，制备稳定均一的Al₂O₃-SiO₂混合溶胶；

(2)将Al₂O₃-SiO₂混合溶胶采用浸渍-提拉法镀制到玻璃基板上，涂覆的基材立即在100℃下固化5分钟后，然后将其放入马弗炉中煅烧，形成Al₂O₃-SiO₂薄膜，再将煅烧过的涂层浸入90℃的去离子水中30分钟，将Al₂O₃转化为多孔的草状AlO(OH)；

(3)将步骤(2)得到的样品放入真空干燥器中，向其中滴入1H，1H，2H，2H全氟癸基三乙氧基硅烷(PFDTES)，固化得到具有双疏性能的减反射膜。

2.如权利要求1所述的高透光率双疏减反射膜的制备方法，其特征在于：步骤(1)中以无水乙醇(EtOH)作为溶剂，氨水(NH₄OH)作为催化剂，正硅酸四乙酯(TEOS)为硅源，采用溶胶凝胶法制备二氧化硅实心小球溶胶。

3.如权利要求2所述的高透光率双疏减反射膜的制备方法，其特征在于：EtOH、TEOS和NH₄OH的摩尔比为114:(1～3):(5.4～11.5)。

4.如权利要求3所述的高透光率双疏减反射膜的制备方法，其特征在于：EtOH、TEOS和NH₄OH的摩尔比为114:3:5.4时，合成20nm的二氧化硅实心小球；EtOH、TEOS和NH₄OH的摩尔比为114:1:10.8时，合成50nm的二氧化硅实心小球；EtOH、TEOS和NH₄OH的摩尔比为114:1:11.5时，合成70nm的二氧化硅实心小球。

5.如权利要求1所述的高透光率双疏减反射膜的制备方法，其特征在于：步骤(1)中硝酸铝与2-异丙氧基乙醇的摩尔比为1:17，乙醇胺的体积加入量为2-异丙氧基乙醇的3％。

6.如权利要求1所述的高透光率双疏减反射膜的制备方法，其特征在于：步骤(1)中SiO₂溶胶和Al₂O₃溶胶的质量比为1：(1～3)。

7.如权利要求1所述的高透光率双疏减反射膜的制备方法，其特征在于：步骤(2)中镀制涂层的提拉速度为60mm/min，浸渍时间为360s；马弗炉中400℃煅烧1h。

8.如权利要求1所述的高透光率双疏减反射膜的制备方法，其特征在于：步骤(3)中1H，1H，2H，2H全氟癸基三乙氧基硅烷(PFDTES)加入量为500μL，180℃烘箱中固化30分钟。

9.一种如权利要求1-8任一项所述方法制备的高透光率双疏减反射膜。