[发明专利]一种管状靶材的绑定方法

权利要求书

1.一种管状靶材的绑定方法，其特征在于，包括以下步骤：管状靶材(1)通过结合层材料(2)与背管(3)紧密固定在一起，且结合层材料(2)与背管(3)的导热导电性能等同。

2.根据权利要求1所述的一种管状靶材的绑定方法，其特征在于，所述管状靶材(1)为氧化物陶瓷靶材、单一金属及合金靶材任一种，所述氧化物陶瓷靶材包括：氧化铟锡靶材(In₂O₃+SnO₃)、氧化锌铝靶材(ZnO+Al₂O₃)、本征氧化锌靶材(i-ZnO)、氧化锌镓靶材(ZnO+Ga₂O₃)、铟镓锌氧化物靶材(In₂O₃+ZnO+Ga₂O₃)、氧化锌靶材(ZnO+SnO₂)、氧化锌镁靶材(ZnO+MgO)、导电氧化铌靶材(NbOx)、导电氧化钛靶材(TiOx)、导电氧化锆靶材(ZrOx)和二氧化硅靶材任一种；所述单一金属及合金靶材包括：钼靶材(Mo)、铌靶材(Nb)、钼铌靶材(MoNb)、银靶材(Ag)、单晶硅靶材(Si)、多晶硅靶材、铜靶材(Cu)和铝靶材(Al)任一种。

3.根据权利要求2所述的一种管状靶材的绑定方法，其特征在于，所述氧化物陶瓷靶材理论密度的范围为≥92％～99％，纯度范围为≥99％～99.9％，所述单一金属及合金靶材理论密度的范围为≥95％～99％，纯度范围为≥97％～99.9％。

4.根据权利要求1所述的一种管状靶材的绑定方法，其特征在于，所述结合层材料(2)为绑定专用胶、铜网或铜丝、SUS304不锈钢网或SUS304不锈钢丝、铝网或铝丝，所述绑定专用胶的材料为导电胶、石墨C和铜(Cu)。

5.根据权利要求4所述的一种管状靶材的绑定方法，其特征在于，所述绑定专用胶、铜网或钢丝、SUS304不锈钢网或SUS304不锈钢丝、铝网或铝丝的纯度≥95％。

6.根据权利要求4所述的一种管状靶材的绑定方法，其特征在于，所述绑定专用胶状态是具有流动性的熔融固态。

7.根据权利要求4所述的一种管状靶材的绑定方法，其特征在于，所述绑定专用胶、所述铜网、所述钢丝、所述SUS304不锈钢网、所述SUS304不锈钢丝、所述铝网和所述铝丝均具有良好的导热导电性。

8.根据权利要求6所述的一种管状靶材的绑定方法，其特征在于，所述背管(3)为不锈钢管、钛管任一种。