[发明专利]用于PECVD设备的加热装置、真空镀膜设备和加热方法

权利要求书

1.一种用于PECVD设备的加热装置(100)，其特征在于，所述加热装置(100)包括：

真空腔体(10)；

装载组件(20)，设置在所述真空腔体(10)内，所述装载组件(20)用于装载待加热件(200)；

加热组件(30)，至少部分设置在所述真空腔体(10)内，所述加热组件(30)包括辐射源(32)，所述辐射源(32)与所述真空腔体(10)转动连接，且与所述装载组件(20)对应设置；

其中，所述加热组件(30)通过所述辐射源(32)对所述待加热件(200)进行辐射加热。

2.根据权利要求1所述的用于PECVD设备的加热装置(100)，其特征在于，所述加热装置(100)还包括驱动组件(40)，所述驱动组件(40)与所述加热组件(30)连接，所述驱动组件(40)能够驱动所述辐射源(32)转动。

3.根据权利要求2所述的用于PECVD设备的加热装置(100)，其特征在于，所述加热组件(30)还包括石英管(34)，所述辐射源(32)为红外灯管，所述石英管(34)沿第一方向插设在所述真空腔体(10)上，所述辐射源(32)沿所述第一方向插设在所述石英管(34)内，所述辐射源(32)能够相对于所述石英管(34)转动，所述石英管(34)的至少一端伸出所述真空腔体(10)，所述辐射源(32)的至少一端伸出所述石英管(34)。

4.根据权利要求3所述的用于PECVD设备的加热装置(100)，其特征在于，所述驱动组件(40)包括：

驱动部(42)；

传动部(44)，与所述驱动部(42)和所述辐射源(32)连接；

其中，所述驱动部(42)用于驱动所述传动部(44)动作，以带动所述辐射源(32)转动。

5.根据权利要求4所述的用于PECVD设备的加热装置(100)，其特征在于，所述驱动部(42)包括：

电机(422)，设置在所述真空腔体(10)上；

转动块(424)，与所述电机(422)和所述传动部(44)连接。

6.根据权利要求5所述的用于PECVD设备的加热装置(100)，其特征在于，所述转动块(424)具有第一端(4242)和与所述第一端(4242)相对设置的第二端(4244)，所述传动部(44)包括：

固定块(442)，设置有安装孔；

接线端头(444)，至少部分设置在所述安装孔内，所述接线端头(444)与所述辐射源(32)伸出所述石英管(34)的一端固连；

第一连接杆(446)，与所述第一端(4242)和所述固定块(442)的一端转动连接；

第二连接杆(448)，与所述第二端(4244)和所述固定块(442)的另一端转动连接。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的用于PECVD设备的加热装置(100)，其特征在于，所述加热装置(100)包括多个加热组件(30)，多个所述加热组件(30)沿第二方向间隔设置。

8.根据权利要求1至6中任一项所述的用于PECVD设备的加热装置(100)，其特征在于，所述装载组件(20)包括载板(22)和传输滚轮(24)，所述传输滚轮(24)能够带动所述载板(22)和装载在所述载板(22)上的所述待加热件(200)往复移动。

9.根据权利要求1至6中任一项所述的用于PECVD设备的加热装置(100)，其特征在于，所述加热装置(100)还包括密封固定组件(50)，所述密封固定组件(50)设置在所述真空腔体(10)上，用于固定所述加热组件(30)，密封所述真空腔体(10)。