[发明专利]精密线性马达平台

说明书

一种精密线性马达平台包括：基底部件，以沿长度方向延长的方式形成；至少一个引导轨，设置在基底部件；移动部件，以能够沿引导轨滑动的方式设置；永磁体组件，设置在基底部件与移动部件中的任一者；线圈组件，设置在基底部件与移动部件中的另一者，以产生磁力并通过与永磁体组件的相互作用使移动部件沿引导轨移动；多个涡流管，设置在基底部件与移动部件中的至少任一者；多个供应管，分别连接到多个涡流管，以对多个涡流管供应压缩空气；以及控制部，控制线圈组件的作动。精密线性马达平台具有以比较低的价格实现精确且精密的作动的效果。另外，精密线性马达平台具有结构比较简单、不会大大增加体积与重量且可精密作动的优点。

技术领域

本发明涉及一种精密线性马达平台，更详细而言涉及一种使用线性马达准确驱动线性运动的装置。

背景技术

线性马达平台非常广泛地用于半导体设备及精密加工装置等设备。

根据线性马达平台的作动精密度，半导体工艺及切削工艺的精密度及精确度受到大的影响。

最近，需要一种具有几乎数微米以内的作动精密度的线性马达平台。

线性马达由于其装置的特性而会从线圈产生大量热量，且由于在线圈中产生的热量加热周边构成会引起热变形，因此是降低作动精密度的主要原因。

为了防止如上所述的热变形，在高精密度的设备中大量使用使用石定盘的方法。如上所述，在将石定盘用作基底的情况下可通过减少在线圈中产生的热量引起的热变形来提高作动精密度。然而，使用石定盘的方法存在制造成本变高且设备整体的重量变重的问题。

因此，需要一种能够在不使用如上所述石定盘等昂贵的材料的同时也将温度变化的影响最小化来实现高精密度的作动的精密线性马达平台。

发明内容

[发明所要解决的问题]

本发明是为了解决如上所述的必要性而提出的，其目的在于提供一种结构比较简单且体积不大、可以比较低廉的费用制造的高精密度精密线性马达平台。

[解决问题的技术手段]

为了达成所述目的，本发明的精密线性马达平台的特征在于包括：基底部件，以沿长度方向延长的方式形成；至少一个引导轨，设置在所述基底部件；移动部件，以能够沿所述引导轨滑动的方式设置；永磁体组件，设置在所述基底部件与移动部件中的任一者；线圈组件，设置在所述基底部件与移动部件中的另一者，以产生磁力并通过与所述永磁体组件的相互作用使所述移动部件沿引导轨移动；多个涡流管，设置在所述基底部件与移动部件中的至少任一者；多个供应管，分别连接到所述多个涡流管，以对所述多个涡流管供应压缩空气；以及控制部，控制所述线圈组件的作动。

[发明的效果]

本发明的精密线性马达平台具有以比较低的价格实现准确且精密的作动的效果。

另外，本发明的精密线性马达平台具有结构比较简单、不会大大增加体积与重量且可精密作动的优点。

附图说明

图1是根据本发明一实施例的精密线性马达平台的立体图；

图2是图1所示精密线性马达平台的仰视立体图；

图3是关于图1所示精密线性马达平台的一部分的剖面图；

图4是根据本发明的另一实施例的精密线性马达平台的立体图。

符号的说明

100：基底部件；

101：贯通孔；

110：中空部；

210、220：引导轨；

300：移动部件；