[发明专利]一种等离子表面清洁装置

权利要求书

1.一种等离子表面清洁装置，其特征在于，包括主机体，所述主机体一侧设有真空泵组，所述主机体两端还设有惰性气体箱及活性气体箱，所述惰性气体箱与所述活性气体箱一侧分别设有高压电源及电控箱，所述惰性气体箱与所述活性气体箱通过管道与所述主机体相通，所述主机体内部中空形成腔体；

所述腔体内部设有用于将所述腔体隔离成两部分的隔离板，所述腔体中设有转动架及石墨电极，所述石墨电极与所述高压电源连接，所述高压电源分别与所述真空泵组、活性气体箱及所述惰性气体箱电连接。

2.根据权利要求1所述的一种等离子表面清洁装置，其特征在于，所述石墨电极分别设于所述腔体两侧。

3.根据权利要求1所述的一种等离子表面清洁装置，其特征在于，所述活性气体箱、惰性气体箱的出气孔与所述石墨电极相对应。

4.根据权利要求1所述的一种等离子表面清洁装置，其特征在于，所述活性气体箱、所述惰性气体箱与所述主机体连接的管道上均设有电磁阀，所述电磁阀与所述电控箱电连接。

5.根据权利要求1所述的一种等离子表面清洁装置，其特征在于，所述主机体还设有转动电机，所述转动架通过轴与转动电机连接，所述转动架上方设置有密封板，所述密封板上开有孔，所述转动架的轴通过孔与所述转动电机连接。

6.根据权利要求1所述的一种等离子表面清洁装置，其特征在于，所述转动架上设有若干粘性贴。

7.根据权利要求1所述的一种等离子表面清洁装置，其特征在于，所述转动架与所述隔离板连接，且所述隔离板与所述转动架连接处设有柔性接头，所述柔性接头与转动架接触连接。

8.根据权利要求1所述的一种等离子表面清洁装置，其特征在于，所述真空泵组共有两个，真空泵组通过管道连接隔离板两侧的腔体。