[发明专利]检测方法、检测系统及非易失性计算机可读存储介质在审

专利信息
申请号: 202110248666.9 申请日: 2021-03-08
公开(公告)号: CN113030107A 公开(公告)日: 2021-06-25
发明(设计)人: 陈鲁;吴汉权;李青格乐;张嵩 申请(专利权)人: 深圳中科飞测科技股份有限公司
主分类号: G01N21/88 分类号: G01N21/88
代理公司: 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 代理人: 邵泳城
地址: 518110 广东省深圳市龙华区大浪街*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 检测 方法 系统 非易失性 计算机 可读 存储 介质
【说明书】:

本申请公开了一种检测方法、检测系统及非易失性计算机可读存储介质。检测方法包括:获取工件的待测区的不同位置的第一高度分布信息,工件放置在承载装置上;根据第一高度分布信息获取第二高度分布信息,第二高度分布信息的高度发生突变的节点数小于第一高度分布信息的高度发生突变的节点数;及控制驱动件根据第二高度分布信息驱动承载装置沿高度方向运动,以带动工件在高度方向上运动。本申请实施方式的检测方法、检测系统及非易失性计算机可读存储介质中,通过降低驱动件驱动承载装置的沿高度运动的频率,从而使在驱动件的运动频率在驱动件的承受范围内并保证驱动件的驱动频率满足检测系统的检测需求。

技术领域

本申请涉及检测技术领域,更具体而言,涉及一种检测方法、检测系统及非易失性计算机可读存储介质。

背景技术

相机在对工件,如显示面板,进行检测时,例如对工件的边缘进行检测时,需要严格控制相机与工件之间的距离,使得边缘位于相机的景深范围内,才能对边缘进行清晰成像。由于边缘的不同位置自身的高度可能是不同的,因此在使用相机拍摄工件边缘的不同位置时,需要控制工件在高度方向移动,或者控制相机在高度方向移动以补偿工件自身高度上的差异。由于相机是精密元件,通常是控制工件移动。

在检测过程中,相机实际拍摄的速度很快,需要工件快速地沿高度方向移动,然而,电机在驱动放置工件的承载装置沿高度方向运动时,电机还不能做到以很高的频率驱动承载装置沿高度方向移动,导致无法满足对工件的检测需求。因此,如何降低对电机的驱动频率的要求并满足对工件的检测需求,是亟需解决的问题。

发明内容

本申请实施方式提供一种检测方法、检测系统及非易失性计算机可读存储介质。

本申请实施方式的检测方法包括:获取工件的待测区的不同位置的第一高度分布信息,所述工件放置在承载装置上;根据所述第一高度分布信息获取第二高度分布信息,所述第二高度分布信息的高度发生突变的节点数小于所述第一高度分布信息的高度发生突变的节点数;控制驱动件根据所述第二高度分布信息驱动所述承载装置沿高度方向运动,以带动所述工件在高度方向上运动。

在某些实施方式中,所述工件由图像采集装置检测,所述控制驱动件根据所述第二高度分布信息驱动所述承载装置沿高度方向运动,包括:控制所述驱动件根据所述第二高度分布信息驱动所述承载装置沿高度方向运动时,所述图像采集装置的视场范围内的工件,均位于所述图像采集装置的景深范围内。

在某些实施方式中,所述第一高度分布信息包括第一高度曲线,所述获取工件的待测区的不同位置的第一高度分布信息,包括:采用定高检测装置测量所述待测区的不同位置相对参考位置的多个距离;以相同基准绘制每个所述距离对应的拟合点;及连接多个所述拟合点以得到所述第一高度曲线。

在某些实施方式中,所述第一高度分布信息包括具有多个第一台阶的第一高度曲线,所述根据所述第一高度分布信息获取第二高度分布信息,包括:根据所述第一高度曲线中的多个第一台阶两两之间的高度差,拟合形成多个第二台阶;连接多个所述第二台阶以形成第二高度曲线,并将所述第二高度曲线作为所述第二高度分布信息。

在某些实施方式中,所述根据所述第一高度曲线中的多个第一台阶两两之间的高度差,拟合形成多个第二台阶,包括:比较步骤:以第i个第一台阶为起点,第m个第一台阶为终点,逐一比较高度区间宽度与预设距离的大小,其中,所述高度区间宽度为第i个第一台阶至第m个第一台阶的所有第一台阶所在高度区间的宽度,m>i≥1,i及m为正整数;获取步骤:在比较得出第i个第一台阶与第n个第一台阶的高度区间宽度大于所述预设距离时,获取第i个第一台阶至第n-1个第一台阶的所有第一台阶所在高度区间的平均高度,n>i≥1,n为正整数;拟合步骤:将第i个第一台阶至第n-1个第一台阶的所有第一台阶,以所述平均高度作为拟合高度形成一个第二台阶;及以所述第n个第一台阶作为起点,循环执行所述比较步骤、所述获取步骤及所述拟合步骤,直至拟合完所有第一台阶,以形成多个第二台阶。

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