[发明专利]包含加热器的高精度键合设备

权利要求书

1.一种键合设备，包括：

键合头结构，包括：

键合头夹头，所述键合头夹头被配置用于夹持待键合至基座构件的键合区域的电气元件，

连接单元，所述键合头夹头附接至所述连接单元，以及

观察通道，所述观察通道沿所述键合头结构的中心轴延伸穿过所述键合头夹头和所述连接单元；

光学单元，所述光学单元相对于所述键合头结构定位以通过所述键合头结构的所述观察通道查看和检查所述电气元件；以及

致动器单元，所述致动器单元被配置用于基于所述光学单元对所述电气元件的检查移动所述键合头结构的所述连接单元，以使所述电气元件与所述基座构件的所述键合区域对准。

2.根据权利要求1所述的键合设备，其中所述观察通道包括至少一个狭槽。

3.根据权利要求2所述的键合设备，其中所述观察通道包括围绕所述中心轴径向设置的多个狭槽。

4.根据权利要求3所述的键合设备，其中所述多个狭槽布置成相邻狭槽之间的角度相同。

5.根据权利要求2所述的键合设备，其中所述观察通道包括第一部分和第二部分，所述第一部分包括所述至少一个狭槽，所述第二部分包括圆孔，其中所述第二部分比所述第一部分更靠近所述光学单元。

6.根据权利要求1所述的键合设备，其中所述连接单元包括多个中心孔，所述多个中心孔基本上对准以形成所述键合头结构的所述观察通道，其中每个中心孔具有垂直于所述中心轴的横向宽度，且所述中心孔的至少两个所述横向宽度不同。

7.根据权利要求6所述的键合设备，其中所述中心孔的所述横向宽度随着距所述光学单元距离的增加而减小。

8.根据权利要求6所述的键合设备，其中所述连接单元的至少两个所述中心孔包括具有相同形状的横截面，其中所述横截面垂直于所述中心轴。

9.根据权利要求6所述的键合设备，其中所述连接单元的至少两个所述中心孔包括垂直于所述中心轴且形状不同的横截面。

10.根据权利要求6所述的键合设备，其中所述键合头夹头包括至少一个基准孔，所述至少一个基准孔基本上与所述连接单元的所述中心孔对准以形成所述键合头结构的所述观察通道。

11.根据权利要求10所述的键合设备，其中所述至少一个基准孔包括从所述键合头夹头切出的至少一个圆形切口，所述至少一个圆形切口对准且略大于能够通过所述中心孔查看的在所述电气元件上形成的一个或多个基准标记。

12.根据权利要求1所述的键合设备，其中所述电气元件包括表面，所述表面包括其上的基准标记，并且所述观察通道被配置用于允许所述光学单元直接通过所述键合区域上方的所述观察通道查看和检查所述基准标记。

13.根据权利要求12所述的键合设备，其中所述观察通道被配置用于允许所述光学单元查看和检查所述基准标记，使得所述观察通道的边界至少部分地围绕所述基准标记设置。

14.根据权利要求12所述的键合设备，其中所述观察通道包括狭槽，并且所述观察通道被配置用于允许所述光学单元在所述狭槽的端部查看和检查所述基准标记。

15.根据权利要求12所述的键合设备，其中所述基准标记是第一基准标记，并且所述电气元件的所述表面包括其上的第二基准标记，并且其中，所述观察通道包括多个狭槽并且被配置用于允许所述光学单元通过不同狭槽查看和检查所述电气元件的所述第一基准标记和所述第二基准标记。