[发明专利]一种在锆包壳上制备具有高温抗氧化性能的铬涂层的方法

权利要求书

1.一种在锆包壳上制备具有高温抗氧化性能的铬涂层的方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：

步骤1，基底前处理：依次进行打磨、超声清洗和等离子体表面处理；

步骤2，制备涂层：将经过前处理后的基底进行磁控溅射处理，在基底的两面镀上铬涂层。

2.根据权利要求1所述的一种在锆包壳上制备具有高温抗氧化性能的铬涂层的方法，其特征在于，所述的步骤1中打磨的操作过程为：将线切割后的样品依次使用100目、400目、800目、1200目、2000目和5000目的砂纸进行打磨。

3.根据权利要求1所述的一种在锆包壳上制备具有高温抗氧化性能的铬涂层的方法，其特征在于，所述的步骤1中打磨的操作过程为：将线切割后的样品依次使用100目、400目、800目、1200目、2000目和5000目的砂纸进行打磨，并将边缘和四角进行打磨。

4.根据权利要求2或3所述的一种在锆包壳上制备具有高温抗氧化性能的铬涂层的方法，其特征在于，打磨过程中使用W1.5金刚石抛光膏。

5.根据权利要求1所述的一种在锆包壳上制备具有高温抗氧化性能的铬涂层的方法，其特征在于，所述的步骤1中超声清洗的操作过程为：首先使用无水乙醇清洗15min，清洗次数为1次；然后使用丙酮清洗15min，清洗次数为2次；再然后使用无水乙醇清洗15min，清洗次数为2次；再然后使用去离子水清洗15min，清洗次数为3次；再然后使用无水乙醇清洗15min，清洗次数为2次；最后在70℃条件下干燥1h。

6.根据权利要求1所述的一种在锆包壳上制备具有高温抗氧化性能的铬涂层的方法，其特征在于，所述的步骤1中等离子体表面处理的操作过程为：将经过超声清洗后的样品放入磁控溅射机的腔体内，抽真空15min后，通入氩气并维持气压为0.5-1.5pa，开启电源，利用通入氩气所产生的等离子体对样品的两侧表面分别进行刻蚀清洗。

7.根据权利要求6所述的一种在锆包壳上制备具有高温抗氧化性能的铬涂层的方法，其特征在于，所述的刻蚀清洗条件为偏压-200V，气氛为氩气，腔体内气压1Pa，时间15min。

8.根据权利要求1所述的一种在锆包壳上制备具有高温抗氧化性能的铬涂层的方法，其特征在于，所述的步骤2中磁控溅射处理条件为：基底与铬靶的间距为10cm，工作气压为5×10^-4pa，基底温度为200℃，溅射功率为170W，溅射时间为2h，气体流速为20sccm，溅射气压为1pa，样品台转速：20r/min；溅射完成后自然冷却至50℃后，向舱室内充气、取样。

9.根据权利要求1所述的一种在锆包壳上制备具有高温抗氧化性能的铬涂层的方法，其特征在于，所述的铬靶的纯度为99.95％。

10.根据权利要求1所述的一种在锆包壳上制备具有高温抗氧化性能的铬涂层的方法，其特征在于，所述的基底为Zr-4合金板材。