[发明专利]一种高韧性TiAlNiN涂层及其制备方法和应用有效
| 申请号： | 202110255187.X | 申请日： | 2021-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN113174570B | 公开（公告）日： | 2023-08-29 |
| 发明（设计）人： | 许雨翔;江龙;王启民;彭滨 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/06;C23C14/02 |
| 代理公司： | 广东广信君达律师事务所 44329 | 代理人： | 张燕玲 |
| 地址： | 510062 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 韧性 tialnin 涂层 及其 制备 方法 应用 | ||
1.一种高韧性TiAlNiN涂层，其特征在于：所述高韧性TiAlNiN涂层中各元素的原子百分比含量为： Ti： 22.46 at.%，Al：21.76 at.%，Ni：4.34 at.%，N：51.44 at.%；
所述的高韧性TiAlNiN涂层的制备方法，包括以下操作步骤：
S1. 将硬质合金基体进行抛光处理，然后先后在酒精和丙酮中进行超声波清洗，清洗完成后用高纯氮气吹干，并将处理好的基体固定在工件转架上；
S2.将炉腔抽真空至真空度5×10-3Pa以下，并且将温度加热到400 ~ 600 ℃；
S3. 打开Ar气流量阀通入Ar气，调节气压至 2.0 Pa，开启直流脉冲偏压电源，设置基体上的偏压为 -1000 V，频率为10 kHz，并将温度降至350℃，对基体进行辉光清洗30min；
S4.关闭Ar气流量阀，打开N2气流量阀，调节流量使腔压保持在3.0 Pa；设置基体上的偏压为-140 V，设置Ti40Al50Ni10电弧靶电流为60 A，点燃Ti40Al50Ni10电弧靶，沉积TiAlNiN涂层，沉积时间为120 min，得到的高韧性TiAlNiN涂层的厚度为 2 ~ 3 μm。
2.根据权利要求1所述的高韧性TiAlNiN涂层，其特征在于：步骤S1 中所述超声波清洗的时间为10 ~ 30min。
3.根据权利要求1或2所述的高韧性TiAlNiN涂层在切削刀具和成形模具的表面耐磨防护中的应用。
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