[发明专利]一种六自由度微动装置及电子束装备

权利要求书

1.一种六自由度微动装置，其特征在于，包括：

硅片承载台(10)，用于承载硅片；

运动组件(20)，包括由上至下依次设置的运动板(201)、上磁屏蔽结构(202)和动子连接块(203)，所述运动板(201)位于所述硅片承载台(10)的下方，所述运动板(201)和所述动子连接块(203)分别从上下两个方向将所述上磁屏蔽结构(202)固定；

固定组件(30)，包括由上至下依次设置的连接板(301)、下磁屏蔽结构(302)和固定板(303)，所述连接板(301)位于所述运动组件(20)的下方，所述连接板(301)和所述固定板(303)分别从上下两个方向将所述下磁屏蔽结构(302)固定；

驱动组件(50)，设置于所述上磁屏蔽结构(202)和所述下磁屏蔽结构(302)围成的区域内，所述驱动组件(50)包括沿周向设于所述连接板(301)四周的至少两组X向音圈电机(51)、至少两组Y向音圈电机(52)和至少三组Z向音圈电机(53)，所述X向音圈电机(51)、所述Y向音圈电机(52)和所述Z向音圈电机(53)均设置有能够相对运动的固定部和运动部，所述固定部与所述连接板(301)连接，所述运动部与所述动子连接块(203)连接；所述X向音圈电机(51)、所述Y向音圈电机(52)和所述Z向音圈电机(53)均采用双线圈式平板音圈电机，所述双线圈式平板音圈电机的两个线圈的电流方向相反；

所述X向音圈电机(51)、所述Y向音圈电机(52)和所述Z向音圈电机(53)均包括：

若干层电机磁屏蔽结构(501)，各层所述电机磁屏蔽结构(501)之间具有间隙；

间隔相对且平行设置的两层电机背铁(502)，两层所述电机背铁(502)连接于内层的电机磁屏蔽结构(501)内；

磁体组件，连接于两层所述电机背铁(502)内；

磁钢连接块(504)，设置于所述磁体组件的端部，所述磁钢连接块(504)连接两层所述电机背铁(502)；

线圈组件。

2.根据权利要求1所述的六自由度微动装置，其特征在于，所述上磁屏蔽结构(202)包括第一屏蔽板(202a)和至少一层第二屏蔽板(202b)，所述第一屏蔽板(202a)沿水平方向设置，所述第二屏蔽板(202b)由所述第一屏蔽板(202a)的外周垂直向下延伸；

所述下磁屏蔽结构(302)包括第三屏蔽板(302a)和至少一层第四屏蔽板(302b)，所述第三屏蔽板(302a)沿水平方向设置，所述第四屏蔽板(302b)由所述第三屏蔽板(302a)的外周垂直向上延伸；

所述上磁屏蔽结构(202)的所述第二屏蔽板(202b)与所述下磁屏蔽结构(302)的所述第四屏蔽板(302b)交错重叠排布，且相互之间留有运动间隙而互不接触。

3.根据权利要求2所述的六自由度微动装置，其特征在于，所述第二屏蔽板(202b)和所述第四屏蔽板(302b)之间的运动间隙为0.5mm～2mm。

4.根据权利要求2所述的六自由度微动装置，其特征在于，所述第二屏蔽板(202b)和所述第四屏蔽板(302b)的厚度均为0.5mm～2mm。

5.根据权利要求1所述的六自由度微动装置，其特征在于，所述运动板(201)、所述动子连接块(203)和所述连接板(301)均采用高导电率材料；所述上磁屏蔽结构(202)和所述下磁屏蔽结构(302)均采用高导磁率材料。

6.根据权利要求1所述的六自由度微动装置，其特征在于，所述连接板(301)为矩形板，所述驱动组件(50)包括两组所述X向音圈电机(51)、两组所述Y向音圈电机(52)和四组所述Z向音圈电机(53)，两组所述X向音圈电机(51)布置在靠近所述连接板(301)的两个X向边的中间的位置，两组所述Y向音圈电机(52)布置在靠近所述连接板(301)的两个Y向边的中间的位置，四组所述Z向音圈电机(53)布置在所述连接板(301)的四角。