[发明专利]基板处理装置和清洁方法

权利要求书

1.一种基板处理装置，其中，

该基板处理装置具有：

处理容器，其容纳基板；

喷射器，其包括第1连接口和第2连接口，内部与所述处理容器内连通；

排气管，其供所述处理容器内排气；

原料气体导入管，其与所述第1连接口连接，向所述喷射器内导入原料气体；

清洁气体导入管，其经由所述第1连接口和所述第2连接口中的一者向所述喷射器内导入清洁气体；以及

通气管，其连接所述第1连接口和所述第2连接口中的另一者与所述排气管，供所述喷射器内排气。

2.根据权利要求1所述的基板处理装置，其中，

所述清洁气体导入管构成为经由所述第1连接口向所述喷射器内导入所述清洁气体，

所述通气管与所述第2连接口连接。

3.根据权利要求1所述的基板处理装置，其中，

所述清洁气体导入管构成为经由所述第2连接口向所述喷射器内导入所述清洁气体，

所述通气管与所述第1连接口连接。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的基板处理装置，其中，

所述喷射器包括与所述处理容器内连通的多个气体喷出孔。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的基板处理装置，其中，

该基板处理装置构成为在所述清洁气体导入管中导入稀释气体。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的基板处理装置，其中，

所述处理容器具有纵长的大致圆筒形状，

所述喷射器具有：

第1气体管，其包括所述第1连接口，该第1气体管在所述处理容器内沿着该处理容器的长度方向设置，并且具有沿着该长度方向形成的多个气体喷出孔；

第2气体管，其包括所述第2连接口，该第2气体管在所述处理容器内沿着该处理容器的长度方向设置；以及

连接管，其使所述第1气体管内与所述第2气体管内连通。

7.根据权利要求6所述的基板处理装置，其中，

该基板处理装置还具有：

第1阀，其设于所述清洁气体导入管；

第2阀，其设于所述通气管；以及

控制部，其控制所述第1阀和所述第2阀的开闭，

所述控制部构成为：以在向所述喷射器内导入清洁气体的情况下在打开所述第2阀后打开所述第1阀的方式控制所述第1阀和所述第2阀。

8.根据权利要求7所述的基板处理装置，其中，

该基板处理装置还具有设于所述排气管的第3阀，

所述控制部构成为：以在关闭所述第3阀的状态下打开所述第1阀和所述第2阀的方式控制所述第1阀、所述第2阀以及所述第3阀。

9.一种清洁方法，其是用于清洁向处理容器内供给原料气体的喷射器内的方法，其中，

该清洁方法依次执行如下步骤：

不向所述喷射器内导入清洁气体而从所述喷射器的一端使该喷射器内排气；以及

一边从所述一端使所述喷射器内排气一边从所述喷射器的另一端向该喷射器内导入清洁气体。