[发明专利]一种用于OLED掩膜版及坩埚清洗的组合物有效

专利信息
申请号: 202110262786.4 申请日: 2021-03-10
公开(公告)号: CN113004980B 公开(公告)日: 2022-08-05
发明(设计)人: 刘小勇;李丛香;房龙翔;叶鑫煌 申请(专利权)人: 福建省佑达环保材料有限公司
主分类号: C11D1/72 分类号: C11D1/72;C11D3/04;C11D3/30;C11D3/20;C11D3/33;C11D3/22;C11D3/36;C11D3/60;C23C14/04;C23C14/24
代理公司: 福州元创专利商标代理有限公司 35100 代理人: 刘佳;蔡学俊
地址: 362800 福建省泉*** 国省代码: 福建;35
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 oled 掩膜版 坩埚 清洗 组合
【权利要求书】:

1.一种用于OLED掩膜版及坩埚清洗的组合物,其特征在于:按质量百分数之和为100%计,所述组合物中各组分及其含量为:无机强碱性物质5-20%,有机碱0.5-15%,有机助剂0.1-50%,螯合剂0.1-10%,PEG-Gemini型非离子表面活性剂0.01-10%,余量为水;

所述PEG-Gemini型非离子表面活性剂的化学结构式如下:

,其中m为5-13之间的整数,n为2-6之间的整数,R独立选自氢原子、饱和烷基、芳基、酯基、酰基、烷氧基中的任意一种;所述无机强碱性物质为氢氧化钠、氢氧化钾、氢氧化锶、氢氧化钙、氢氧化钡、碳酸钠、碳酸钾、碳酸氢钠、碳酸氢钾中的至少一种;所述有机碱为链烷醇胺,其具体包括:单乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、单异丙醇胺、2-氨基乙醇、2-(乙基氨基)乙醇、2-(二甲基氨基)乙醇、N-甲基二乙醇胺、N,N-二甲基乙醇胺、N,N-二乙氨基乙醇、2-(2-氨基乙基胺)乙醇、1-氨基-2-丙醇、2-氨基-1-丙醇、3-氨基-1-丙醇、4-氨基-1-丁醇、二丁醇胺中的任意一种或多种;所述有机助剂为乙二醇甲醚、乙二醇乙醚、乙二醇丁醚、乙二醇、丙二醇、二乙二醇单甲醚、二乙二醇单乙醚、二乙二醇单丁醚、丙二醇单甲醚、丙二醇单乙醚、丙二醇单丁醚中的任意一种或多种;所述螯合剂为乙二胺四乙酸、乙二胺四乙酸二钠、乙二胺四乙酸四钠、柠檬酸、柠檬酸钠、葡萄糖、葡萄糖酸钠中的任意一种或多种。

2.根据权利要求1所述的用于OLED掩膜版及坩埚清洗的组合物,其特征在于:所述PEG-Gemini型非离子表面活性剂的制备步骤如下:

1)将不饱和酸、二元醇和对甲苯磺酸按摩尔比1:1.2:1混合,在以甲苯为溶剂的条件下加热回流反应3h后,将体系蒸馏至恒重,得产物A;

其中,所述不饱和酸的结构式为:,所述二元醇的结构式为:,所得产物A的结构式为:,m为5-13之间的整数,n为2-6之间的整数;

2)按摩尔比1:1.2在步骤1)所得产物A中滴加间氯过氧苯甲酸,然后将体系温度维持在5-15℃,反应72h,反应结束后,体系经过重结晶或柱色谱进行纯化,得产物B,其结构式为:

3)将步骤2)所得产物B与聚乙二醇、三氟化硼乙醚按摩尔比1:1.5:1混合,80℃反应5h,得所述PEG-Gemini型非离子表面活性剂。

3.根据权利要求1所述的用于OLED掩膜版及坩埚清洗的组合物,其特征在于:所述水为去离子水。

4.根据权利要求1所述的用于OLED掩膜版及坩埚清洗的组合物,其特征在于:所述组合物的制备方法为:往水中先添加无机强碱性物质、有机碱,然后添加有机助剂,再加入PEG-Gemini型非离子表面活性剂,在200rpm的搅拌速度下使其形成均一体系,再一边搅拌一边加入螯合剂,以最终得到均一稳定澄清透明的溶液。

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