[发明专利]掩膜板组件及蒸镀设备

权利要求书

1.一种掩膜板组件，其特征在于，其包括：框架、层叠设置于所述框架上的第一掩膜板和第二掩膜板，所述第一掩膜板位于所述第二掩膜板远离所述框架的一侧；

所述第一掩膜板包括多条沿第一方向设置的掩膜条，相邻的两个所述掩膜条之间设有间隙，每一所述掩膜条上设有呈阵列排列的多个像素开口；

所述第二掩膜板包括主体以及沿主体的外周缘设置的支撑条，所述支撑条的第一端与所述主体连接，相对于所述第一端设置的第二端与所述框架连接，所述主体上设置有呈阵列排列的多个用于限定显示区域的形状的开口，所述开口的尺寸小于所述掩膜条的尺寸，所述支撑条包括多条沿所述第一方向的第一支撑条、以及多条沿垂直于所述第一方向的第二方向设置的第二支撑条，多条所述第一支撑条沿第二方向间隔设置，多条所述第二支撑条沿第一方向间隔设置；

其中，位于最外侧的所述第一支撑条的第一端以及位于最外侧的所述第二支撑条的第一端的宽度均由远离所述主体至靠近所述主体的方向逐渐递增，且所述第一支撑条对应于所述间隙设置。

2.如权利要求1所述的掩膜板组件，其特征在于，位于最外侧的所述第一支撑条的第一端以及位于最外侧的所述第二支撑条的第一端的相对设置的两个侧边与所述主体的连接处均为圆角设置。

3.如权利要求1所述的掩膜板组件，其特征在于，位于最外侧的所述第一支撑条的第一端以及位于最外侧的所述第二支撑条的第一端的相对设置的两个侧边均由远离所述主体至靠近所述主体的方向向外斜向延伸；

位于最外侧的所述第一支撑条的第一端以及位于最外侧的所述第二支撑条的第一端的相对设置的两个侧边为直线形或者弧形。

4.如权利要求1所述的掩膜板组件，其特征在于，

至少部分其余所述第一支撑条的第一端的宽度均由远离所述主体至靠近所述主体的方向逐渐递增；和/或，

至少部分其余所述第二支撑条的第一端的宽度均由远离所述主体至靠近所述主体的方向逐渐递增。

5.如权利要求4所述的掩膜板组件，其特征在于，至少部分其余所述第一支撑条的第一端的相对设置的两个侧边与所述主体的连接处均为圆角设置；和/或，

至少部分其余所述第二支撑条的第一端的相对设置的两个侧边与所述主体的连接处均为圆角设置。

6.如权利要求1-5中任意一项所述的掩膜板组件，其特征在于，所述第一支撑条的第二端的宽度小于或等于所述间隙的宽度。

7.如权利要求1-5中任意一项所述的掩膜板组件，其特征在于，所述第一支撑条的第二端的宽度为所述第一支撑条的最小宽度，所述第一支撑条的最小宽度为1.8mm～2.0mm。

8.如权利要求1-5中任意一项所述的掩膜板组件，其特征在于，所述主体的设置第一支撑条的侧边为第一侧边，设置所述第二支撑条的侧边为第二侧边；

所述框架的内边缘到所述主体的第一侧边的距离D大于5mm且小于所述开口沿所述第一方向的尺寸，所述第一支撑条的长度比所述距离D长5mm以上：

所述框架的内边缘到所述主体的第二侧边的距离K大于5mm且小于所述开口沿所述第二方向的尺寸，所述第二支撑条的长度比所述距离K长5mm以上。

9.如权利要求1-5中任意一项所述的掩膜板组件，其特征在于，相邻的两个所述第二支撑条之间的间距大于所述开口沿所述第一方向的尺寸。

10.一种蒸镀设备，其特征在于，包括权利要求1-9任一项所述的掩膜板组件。