[发明专利]一种IGZO粉体、靶材及其制备方法

权利要求书

1.一种IGZO粉体的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

(1)将氧化铟、氧化镓及氧化锌粉体混合后得到混合粉体，将混合粉体加入分散粘结剂水溶液中混合均匀，得浆料A；所述分散粘结剂水溶液中含有分散剂和粘结剂；所述分散剂包括聚乙烯吡络烷酮、聚羧酸系化合物、聚乙烯酸盐中的至少一种，所述粘结剂包括聚乙烯醇、聚乙二醇、羧甲基纤维素、聚丙烯酰胺、聚丙烯酸盐中的至少一种；

(2)将步骤(1)所得浆料A依次进行超声处理及研磨后，加入消泡剂继续搅拌均匀，喷雾造粒，即得所述IGZO粉体；所述消泡剂包括聚二甲基硅氧烷、聚氧丙烯氧化乙烯甘油醚、正丁醇中的至少一种。

2.如权利要求1所述的IGZO粉体的制备方法，其特征在于，步骤(1)所述的氧化铟、氧化镓及氧化锌粉体三者的质量比为45.11:28.76:26.29。

3.如权利要求1所述的IGZO粉体的制备方法，其特征在于，所述氧化铟、氧化镓及氧化锌粉体的平均粒度为120～300nm。

4.如权利要求1所述的IGZO粉体的制备方法，其特征在于，步骤(1)所述混合粉体、分散剂及粘结剂三者的质量之比为1:(0.001～0.05):(0.01～0.08)。

5.如权利要求1所述的IGZO粉体的制备方法，其特征在于，步骤(1)所述浆料A中固体所占质量百分比为50～70％。

6.如权利要求1所述的IGZO粉体的制备方法，其特征在于，步骤(2)所述超声处理的时间为10～80min，超声的频率为25～130kHz。

7.如权利要求1所述的IGZO粉体的制备方法，其特征在于，步骤(2)所述研磨的转速为800～1200rpm，研磨后的粉体D₅₀＝0.1～0.5μm，D₉₀＝0.1～1.5μm。

8.如权利要求1～7任一项所述IGZO粉体的制备方法制备的IGZO粉体。

9.一种IGZO靶材的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括以下步骤：将实施例8所述IGZO粉体依次经过筛、加压成型、煅烧后，即得所述IGZO靶材。

10.如权利要求9所述IGZO靶材的制备方法制备得到的IGZO靶材。