[发明专利]零相位差位置寻找方法、扫描系统及存储介质

权利要求书

1.一种零相位差位置寻找方法，其特征在于，包括：

调整扫描机构的干涉物镜与待测物之间在预设方向上的相对位置，以使所述干涉物镜从预设的零位位置到达预设的偏移位置，在所述预设方向上，所述偏移位置与所述零位位置之间具有偏移量；

通过所述扫描机构采集光谱信号，并根据所述光谱信号获取所述待测物各膜层相对所述零位位置之间的多个距离；及

根据每个所述距离及所述偏移量确定所述干涉物镜相对所述待测物的各膜层的零相位差位置，所述根据每个所述距离及所述偏移量确定所述干涉物镜相对所述待测物的各膜层的零相位差位置，包括：

将每个所述距离及所述偏移量之和的负数作为所述待测物的各膜层的补偿量；及

在所述预设方向上，将距离所述待测物的各膜层对应的补偿量所在的位置作为所述待测物的各膜层的零相位差位置。

2.根据权利要求1所述的零相位差位置寻找方法，其特征在于，所述调整所述扫描机构的干涉物镜与待测物之间在预设方向上的相对位置，以使所述干涉物镜从预设的零位位置到达预设的偏移位置，包括：

调整所述干涉物镜在所述扫描机构内的位置，以使所述干涉物镜从预设的零位位置到达预设的偏移位置；或

调整所述扫描机构的位置，以使所述干涉物镜从预设的零位位置到达预设的偏移位置；或

调整所述待测物的位置，以使所述干涉物镜从预设的零位位置到达预设的偏移位置。

3.根据权利要求1所述的零相位差位置寻找方法，其特征在于，所述通过所述扫描机构采集光谱信号，并根据所述光谱信号获取所述待测物各膜层相对所述零位位置之间的多个距离，包括：

通过所述扫描机构采集光谱信号，并将所述光谱信号转换为关于波数的离散函数I(k)；

对所述离散函数进行傅里叶变换以获取频谱函数F(z)；及

根据所述频谱函数F(z)进行寻峰计算出所述待测物各膜层相对所述零位位置之间的多个距离。

4.根据权利要求1所述的零相位差位置寻找方法，其特征在于，还包括：

在扫描所述待测物的各膜层时，根据所述待测物的各膜层对应的所述零相位差位置调整所述干涉物镜的位置。

5.一种扫描系统，其特征在于，包括：

用于对待测物进行扫描检测的扫描机构，所述扫描机构包括干涉物镜；

一个或多个处理器，一个或多个所述处理器用于：控制调整所述扫描机构的干涉物镜与待测物之间在预设方向上的相对位置，以使所述干涉物镜从预设的零位位置到达预设的偏移位置，在所述预设方向上，所述偏移位置与所述零位位置之间具有偏移量；及

所述扫描机构用于采集光谱信号，一个或多个所述处理器还用于根据所述光谱信号获取所述待测物各膜层相对所述零位位置之间的多个距离；将每个所述距离及所述偏移量之和的负数作为所述待测物的各膜层的补偿量；及在所述预设方向上，将距离所述待测物的各膜层对应的补偿量所在的位置作为所述待测物的各膜层的零相位差位置。

6.根据权利要求5所述的扫描系统，其特征在于，一个或多个所述处理器还用于：

控制调整所述干涉物镜在所述扫描机构内的位置，以使所述干涉物镜从预设的零位位置到达预设的偏移位置；或

控制调整所述扫描机构的位置，以使所述干涉物镜从预设的零位位置到达预设的偏移位置；或

控制调整所述待测物的位置，以使所述干涉物镜从预设的零位位置到达预设的偏移位置。

7.根据权利要求5所述的扫描系统，其特征在于，一个或多个所述处理器还用于：

将所述光谱信号转换为关于波数的离散函数I(k)；

对所述离散函数进行傅里叶变换以获取频谱函数F(z)；及

根据所述频谱函数F(z)进行寻峰计算出所述待测物各膜层相对所述零位位置之间的多个距离。

8.根据权利要求5所述的扫描系统，其特征在于，一个或多个所述处理器还用于：扫描机构在扫描所述待测物的各膜层时，根据所述待测物的各膜层对应的所述零相位差位置调整所述干涉物镜的位置。

9.一种存储有计算机程序的非易失性计算机可读存储介质，其特征在于，当所述计算机程序被一个或多个处理器执行时，实现权利要求1至4任意一项所述的零相位差位置寻找方法。