[发明专利]一种新型高能激光光束质量测量装置

权利要求书

1.一种新型高能激光光束质量测量装置，包括待测激光光源(1)，其特征在于，还包括高灵敏度线阵CCD(2)、成像镜头(3)、瑞利散射体(4)、高精密电动转台(5)、高精密电动转台(5)运动控制器及计算机(7)；所述瑞利散射体(4)沿高精密电动转台(5)的中间通孔轴心垂直固定于高精密电动转台(5)的转盘上，所述成像镜头(3)与高灵敏度线阵CCD(2)固定连接，所述高灵敏度线阵CCD(2)使成像镜头(3)紧贴所述瑞利散射体(4)的情况下垂直固定于所述高精密电动转台(5)的转盘上，待测激光光源(1)垂直入射到所述瑞利散射体(4)并沿瑞利散射体(4)轴线穿过，通过高精密电动转台(5)运动控制器使所述瑞利散射体(4)、高灵敏度线阵CCD(2)沿所述待测激光光源(1)的光束光轴旋转，完成对待测激光光源(1)输出光束各方向瑞利散射信号采集，经计算机(7)完成数据处理，生成所述待测激光光源(1)输出光束三维、二维光强分布，以及光束传播因子M²与光束质量因子β的计算值。

2.根据权利要求1所述的一种新型高能激光光束质量测量装置，其特征在于，所述计算机(7)用于显示待测激光光源(1)在瑞利散射体(4)内部的光强分布及各类光束质量因子。

3.根据权利要求1所述的一种新型高能激光光束质量测量装置，其特征在于，所述待测激光光源(1)为低功率激光器或高能激光器；当待测激光光源(1)为低功率激光器时，激光器输出功率最低在10mW以上。

4.根据权利要求1所述的一种新型高能激光光束质量测量装置，其特征在于，当待测激光光源(1)的功率不超过熔石英损伤阈值，瑞利散射体(4)材料采用熔石英块；当待测激光光源(1)的功率超过熔石英损伤阈值，则瑞利散射体(4)材料采用空气。

5.根据权利要求1所述的一种新型高能激光光束质量测量装置，其特征在于，所述高灵敏度线阵CCD(2)的工作波长为400nm-1100nm。

6.根据权利要求1所述的一种新型高能激光光束质量测量装置，其特征在于，所述成像镜头(3)为变焦镜头，为紧凑型VIS-NIR镜头。

7.根据权利要求1所述的一种新型高能激光光束质量测量装置，其特征在于，所述高精密电动转台(5)为中空的高稳定性电动精密转台。

8.根据权利要求1所述的一种新型高能激光光束质量测量装置，其特征在于，所述成像镜头(3)与高灵敏度线阵CCD(2)通过标准C口连接。