[发明专利]一种真空电浆成型腔体设备

说明书

本发明涉及镀膜设备技术领域，公开了一种真空电浆成型腔体设备，包括内部中空的腔体、与腔体连通的进气管道、用于在进气管道内的空气进入腔体前依次进行过滤的滤板，以及设置在腔体内的放电装置和工件；所述滤板至少有三个且每个滤板上均设置有滤孔；在沿空气流动的方向上，滤板的滤孔数量逐渐增多，且滤孔的孔径逐渐减小。

技术领域

本发明涉及镀膜设备技术领域，具体涉及一种真空电浆成型腔体设备。

背景技术

电浆，也称为等离子体，已广泛应用于半导体集成电路领域，不同材料薄膜的成长及电路的蚀刻普通通过电浆技术实现。在半导体封装及纺织工业方面，使用电浆来清洁及改变材料表面，以达到特殊的功能和效果；在环保方面，电浆火炬可以安全固化焚化炉所产生的高污染灰渣；在医疗、科研方面也具有重要作用。

本发明提供一种利用电浆技术为工件镀膜的设备。

发明内容

为解决上述技术问题，本发明提供一种真空电浆成型腔体设备。

为解决上述技术问题，本发明采用如下技术方案：

一种真空电浆成型腔体设备，包括内部中空的腔体、与腔体连通的进气管道、用于在进气管道内的空气进入腔体前依次进行过滤的滤板，以及设置在腔体内的放电装置和工件；所述滤板至少有三个且每个滤板上均设置有滤孔；在沿空气流动的方向上，滤板的滤孔数量逐渐增多，且滤孔的孔径逐渐减小。

进一步地，包括设置在腔体内部的过滤箱体；所述进气管道贯穿腔体和过滤箱体的上壁进入过滤箱体内部；所述滤板从上到下依次水平设置在箱体内，最上层滤板位于进气管道的下部，最下层滤板的滤孔与腔体连通。

进一步地，包括设置在腔体下部的冷却板、布置在冷却板内且内部流动有冷却水的冷却管道、设置在腔体外且与冷却管道连通的水循环装置；所述工件放置在冷却板上。

进一步地，包括与腔体连通的抽真空装置和气体监控仪。

进一步地，所述腔体的侧边设置有透视窗。

与现有技术相比，本发明的有益技术效果是：

1.经过初步过滤的压缩空气从进气管道进入腔体，为了保证镀膜效果，进入腔体前，本发明利用多层滤板对空气进行进一步地过滤；本发明采用多层分级过滤方式，滤板的数量逐渐增多、孔径逐渐减少，可以兼顾过滤效率和过滤效果，避免空气中的杂质进入腔体。

2.通过抽真空装置抽取腔体内的气体，并通过气体监测仪监测腔体内的气体剩余量，在腔体内的惰性气体达到设定值时，暂停抽真空装置，使腔体内保留适量的惰性气体，以保证后续的镀膜效果。

附图说明

图1为本发明的剖视图；

图2为本发明的顶视图；

图3为本发明的工作原理图。

具体实施方式

下面结合附图对本发明的一种优选实施方式作详细的说明。

如图1-2所示，一种真空电浆成型腔体设备，包括内部中空的腔体3、与腔体连通的进气管道1-1、用于在进气管道内的空气进入腔体前依次进行过滤的滤板11，以及设置在腔体内的放电装置和工件6；所述滤板至少有三个且每个滤板上均设置有滤孔；在沿空气流动的方向上，滤板的滤孔数量逐渐增多，且滤孔的孔径逐渐减小。

包括设置在腔体内部的过滤箱体；所述进气管道贯穿腔体和过滤箱体的上壁进入过滤箱体内部；所述滤板从上到下依次水平设置在箱体内，最上层滤板位于进气管道的下部，最下层滤板的滤孔与腔体连通。