[发明专利]一种单晶炉石墨加热器制备用钽箔预处理装置有效

专利信息
申请号: 202110271845.4 申请日: 2021-03-12
公开(公告)号: CN113136582B 公开(公告)日: 2023-09-22
发明(设计)人: 付钦堂 申请(专利权)人: 昆明汇泉高纯半导材料有限公司
主分类号: C23G3/00 分类号: C23G3/00
代理公司: 深圳立专知识产权代理有限公司 441000 代理人: 陈文爽
地址: 650000 云南省*** 国省代码: 云南;53
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摘要:
搜索关键词: 一种 单晶炉 石墨 加热器 制备 用钽箔 预处理 装置
【权利要求书】:

1.一种单晶炉石墨加热器制备用钽箔预处理装置,包括有底架、控制器和酸洗箱,其特征在于:还包括有酸洗辅助组件、酸液清理组件和水洗组件;底架与控制器相连接;底架与酸洗箱相连接;底架与酸洗辅助组件相连接;底架与酸液清理组件相连接;底架与水洗组件相连接;酸液清理组件与水洗组件相连接;

酸洗辅助组件包括有第一连接板、第一电动滑块、第一电动滑轨、第一电动推杆、第二连接板、第一固定轴、第三连接板、柱形滑块、传动圆柱、第一传动杆、第一平齿轮、U形连接架、第一连接长板、第一电动夹、第二电动推杆、第四连接板、第二电动滑轨、第二电动滑块、第二连接长板和第二电动夹;第一连接板侧面与第一电动滑块进行固接;第一电动滑块与第一电动滑轨进行滑动连接;第一电动滑轨与底架进行固接;第一连接板两侧对称设置有第一电动滑块和第一电动滑轨;第一连接板底面一侧与第一电动推杆进行固接;第一电动推杆与第二连接板进行固接;第二连接板与第一固定轴进行固接;第一固定轴与第三连接板中部进行转动连接;第三连接板侧面与柱形滑块进行固接;柱形滑块与传动圆柱进行滑动连接;传动圆柱与第一传动杆进行固接;第一传动杆与第一平齿轮进行固接;第一传动杆与U形连接架进行转动连接;U形连接架与第二连接板进行固接;第一连接长板通过转轴与第三连接板进行转动连接;第一电动夹与第一连接长板进行固接;第一连接板底面两侧对称设置有第一电动推杆、第二连接板、第一固定轴、第三连接板、柱形滑块、传动圆柱、第一传动杆、第一平齿轮、U形连接架、第一连接长板和第一电动夹的组合;第二电动推杆与第一连接板底面中部进行固接;第二电动推杆与第四连接板进行固接;第四连接板与第二电动滑轨进行固接;第二电动滑轨与第二电动滑块进行滑动连接;第二电动滑块与第二连接长板进行固接;第二连接长板与第二电动夹进行固接;

酸液清理组件包括有电机、第二传动杆、第一轴套、第一固定架、第三电动推杆、第一锥齿轮、第二锥齿轮、双向螺纹丝杆、平移滑块、平移滑轨、第四电动推杆、第三电动滑轨、第三电动滑块、挤压辊、第四电动滑轨、第四电动滑块、吸水机、J形管、锥形吸水头、第三锥齿轮、第四锥齿轮、第三传动杆、第一传动轮、第五锥齿轮、第二传动轮、第四传动杆、第六锥齿轮、第七锥齿轮、第五传动杆、第二平齿轮、第八锥齿轮、第六传动杆和第三平齿轮;电机与底架进行固接;电机输出轴与第二传动杆进行固接;第二传动杆与底架进行转动连接;第一轴套与第二传动杆进行滑动连接;第一轴套与第一固定架进行转动连接;第一固定架与第三电动推杆进行固接;第三电动推杆与底架进行固接;第一锥齿轮与第一轴套进行固接;第一锥齿轮上方设置有第二锥齿轮;当第一锥齿轮与第二锥齿轮啮合时,第二锥齿轮转动;当第一锥齿轮与第二锥齿轮不啮合时,第二锥齿轮不转动;第二锥齿轮与双向螺纹丝杆靠近第一锥齿轮的一侧进行固接;双向螺纹丝杆与平移滑块进行旋接;双向螺纹丝杆两侧与底架进行转动连接;平移滑块与平移滑轨进行滑动连接;平移滑轨与底架进行固接;第四电动推杆与平移滑块进行固接;第三电动滑轨与第四电动推杆进行固接;第三电动滑块与第三电动滑轨进行滑动连接;第三电动滑块与挤压辊进行转动连接;第四电动滑轨与第三电动滑轨进行固接;第四电动滑块与第四电动滑轨进行滑动连接;吸水机与第四电动滑块进行固接;J形管与吸水机进行固接;锥形吸水头与J形管进行固接;第四电动滑轨两侧对称设置有第四电动滑块、吸水机、J形管和锥形吸水头的组合;以双向螺纹丝杆中点为界,两侧对称设置有平移滑块、平移滑轨、第四电动推杆、第三电动滑轨、第三电动滑块、挤压辊、第四电动滑轨、第四电动滑块、吸水机、J形管和锥形吸水头的组合;第三锥齿轮与第二传动杆进行固接;第三锥齿轮与第四锥齿轮相啮合;第四锥齿轮与第三传动杆进行固接;第三传动杆与底架进行转动连接;第一传动轮与第三传动杆进行固接;第五锥齿轮与第三传动杆进行固接;第一传动轮通过皮带与第二传动轮进行传动连接;第二传动轮与第四传动杆进行固接;第四传动杆与底架进行转动连接;第六锥齿轮与第四传动杆进行固接;第六锥齿轮与第七锥齿轮相啮合;第七锥齿轮与第五传动杆一侧进行固接;第五传动杆与底架进行转动连接;第五传动杆另一侧与第二平齿轮进行固接;第八锥齿轮与第五锥齿轮相啮合;第八锥齿轮与第六传动杆一侧进行固接;第六传动杆与底架进行转动连接;第六传动杆另一侧与第三平齿轮进行固接。

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