[发明专利]定位方法、检测系统及计算机可读存储介质

说明书

本申请提供一种定位方法、检测系统和存储介质。定位方法包括：获取承载在机台上的工件的待处理图像，工件具有第一坐标系并包括至少三个工件标记点，机台具有第二坐标系并包括与工件标记点对应的机台坐标点；根据待处理图像中的至少三个工件标记点在第一坐标系下的第一坐标值与对应的机台坐标点在第二坐标系下的第二坐标值计算工件标记点相较于对应的机台坐标点的至少三个坐标偏差；及根据至少三个坐标偏差获取工件与机台之间的位置偏差。本申请的定位方法中，通过计算待处理图像中的至少三个工件标记点与对应的机台坐标点之间的坐标偏差，得出整个工件与机台之间的位置偏差，根据位置偏差实现对工件的待检测的兴趣点的快速定位。

技术领域

本申请涉及半导体检测技术领域，更具体而言，涉及一种工件的定位方法、检测系统、及非易失性计算机可读存储介质。

背景技术

目前，受终端半导体市场的影响，工件的制造产能也随之提升，工件的种类越来越丰富。半导体检测设备往往需要检测种类不同的工件，在搬运工件至半导体检测设备进行检测时，会出现定位不准确的问题，从而导致半导体检测设备不能准确地测得工件的数据信息。

发明内容

本申请实施方式提供一种工件的定位方法、检测系统、及非易失性计算机可读存储介质。

本申请实施方式的工件的定位方法包括：获取承载在机台上的工件的待处理图像，所述工件具有第一坐标系并包括至少三个工件标记点，所述机台具有第二坐标系并包括与工件标记点对应的机台坐标点；根据所述待处理图像中的至少三个所述工件标记点在所述第一坐标系下的第一坐标值与对应的所述机台坐标点在所述第二坐标系下的第二坐标值计算所述工件标记点相较于对应的所述机台坐标点的至少三个坐标偏差；及根据至少三个所述坐标偏差获取所述工件与所述机台之间的位置偏差。

本申请实施方式的一种检测系统包括机台及一个或多个处理器。一个或多个处理器用于：控制图像采集装置获取承载在所述机台上的工件的待处理图像，所述工件具有第一坐标系并包括至少三个工件标记点，所述机台具有第二坐标系并包括与工件标记点对应的机台坐标点；根据所述待处理图像中的至少三个所述工件标记点在所述第一坐标系下的第一坐标值与对应的所述机台坐标点在所述第二坐标系下的第二坐标值计算所述工件标记点相较于对应的所述机台坐标点的至少三个坐标偏差；及根据至少三个所述坐标偏差获取所述工件与所述机台之间的位置偏差。

本申请实施方式的一种非易失性计算机可读存储介质存储有计算机程序，当计算机程序被一个或多个处理器执行时，使得处理器能够实现如下定位方法：控制图像采集装置获取承载在机台上的工件的待处理图像，所述工件具有第一坐标系并包括至少三个工件标记点，所述机台具有第二坐标系并包括与工件标记点对应的机台坐标点；根据所述待处理图像中的至少三个所述工件标记点在所述第一坐标系下的第一坐标值与对应的所述机台坐标点在所述第二坐标系下的第二坐标值计算所述工件标记点相较于对应的所述机台坐标点的至少三个坐标偏差；及根据至少三个所述坐标偏差获取所述工件与所述机台之间的位置偏差。

本申请的工件的定位方法、检测系统、及非易失性计算机可读存储介质中，通过计算待处理图像中的至少三个工件标记点与对应的机台坐标点之间的坐标偏差，得出整个工件与机台之间的位置偏差，根据位置偏差实现对工件的待检测的兴趣点的快速定位，提高检测效率和精度。

本申请的实施方式的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本申请的实施方式的实践了解到。

附图说明

本申请的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施方式的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1是本申请某些实施方式的工件的定位方法的流程图；

图2是本申请某些实施方式的工件承载在机台上的示意图；

图3是本申请某些实施方式的待处理图像的示意图；

图4是本申请某些实施方式的检测系统的结构示意图；