[发明专利]一种固态反射型声表面波谐振器及其制备方法

权利要求书

1.一种固态反射型声表面波谐振器，从下至上依次包括：衬底、反射层、压电薄膜和上电极，其特征在于：

所述反射层是以一层低声阻抗反射层叠在一层高声阻抗反射层上为一个循环的n循环叠层结构，n取1-5，且至少一个循环中包含有一层多孔结构层。

2.如权利要求1所述固态反射型声表面波谐振器，其特征在于：所述压电薄膜的材料为铌酸锂LN、钽酸锂LT或石英。

3.如权利要求1所述固态反射型声表面波谐振器，其特征在于：所述多孔结构层的材料为多晶硅、非晶硅或多晶碳化硅。

4.如权利要求1所述固态反射型声表面波谐振器，其特征在于：所述多孔结构层的单层厚度为50nm-1000nm，总厚度为100nm-5000nm。

5.如权利要求1所述固态反射型声表面波谐振器的制备方法，包括以下步骤：

步骤1、取经过离子注入的压电材料，并在压电材料的注入面下方生长反射层，然后将衬底与压电材料有反射层的一侧键合；

或者，在衬底上生长反射层，取经过离子注入的压电材料，将压电材料的注入面与衬底具有反射层的一侧键合；

或者，分别在离子注入的压电材料其注入面生长反射层，衬底生长反射层；然后将衬底生长反射层一侧与压电材料具有反射层的一侧键合；

所述反射层是以一层低声阻抗反射层叠在一层高声阻抗反射层上为一个循环的n循环叠层结构，n取1-5，且至少一个循环中包含有一层多孔结构层；

步骤2、将步骤1中得到的键合后的中间产物进行热处理，使压电材料的薄膜剥离，再在压电材料剥离后的一侧生长上电极，即得。

6.如权利要求5所述固态反射型声表面波谐振器的制备方法，其特征在于：所述多孔结构层的制备方法为物理气相沉积，化学气相沉积或离子刻蚀。

7.如权利要求6所述固态反射型声表面波谐振器的制备方法，其特征在于：所述多孔结构层采用离子刻蚀方法制备时，离子刻蚀的气体采用六氟化硫SF₆、四氟化碳CF₄、三氟甲烷CHF₃、氩气Ar或氧气O₂。