[发明专利]一种等离子体化学气相沉积法制备光纤预制棒的装置和方法

权利要求书

1.一种等离子体化学气相沉积法制备光纤预制棒的装置，其特征在于，包括加热炉，所述加热炉内设有石英管组件，还包括夹持旋转机构，所述夹持旋转机构夹持所述石英管组件，使所述石英管组件绕其轴线旋转；所述石英管组件外还套设有微波腔体，所述微波腔体连接有波导装置；所述微波腔体和所述波导装置在牵引装置的带动下沿着所述石英管组件的外侧面做水平往复运动；所述加热炉内还设有多条环绕所述石英管组件设置的加热棒；所述微波腔体也安装于多条加热棒的内侧；还包括用于控制所述夹持旋转机构的第一控制组件和用于控制所述牵引装置的第二控制组件，所述石英管组件包括石英管、位于所述石英管中心的中心靶棒以及连接所述石英管和所述中心靶棒的支撑件，中心靶棒的两端分别熔接有低纯度石英棒，所述支撑件呈圆环状，且至少设有两组，相互平行的设置于所述石英管内，每一组支撑件的侧面都开设有多个供反应气体或者反应产物排出的通孔。

2.根据权利要求1所述的一种等离子体化学气相沉积法制备光纤预制棒的装置，其特征在于，所述加热炉水平设置，其两端的炉壁上相对的设置有多组安装孔，所述多条加热棒通过所述安装孔安装于所述加热炉内。

3.根据权利要求1所述的一种等离子体化学气相沉积法制备光纤预制棒的装置，其特征在于，所述加热炉的底部设有水平方向的长开口，所述波导装置的一端从该长开口伸出所述加热炉的炉体外侧，连接外部的牵引装置。

4.根据权利要求1所述的一种等离子体化学气相沉积法制备光纤预制棒的装置，其特征在于，还包括保温板，所述保温板固定于所述波导装置的下端，且所述保温板卡接于所述加热炉底部的长开口，牵引装置带动所述保温板、所述波导装置和所述微波腔体整体做水平往复运动。

5.一种等离子体化学气相沉积法制备光纤预制棒的方法，其特征在于，使用了上述权利要求1至4中任意一项所述的一种等离子体化学气相沉积法制备光纤预制棒的装置，包括以下步骤：

步骤一：在低压状态下将反应原料气通入所述石英管组件中；

步骤二：启动加热炉，对石英管组件进行加热；

步骤三：通过第一控制组件控制所述夹持旋转机构带动所述石英管绕其中心轴匀速转动；同时，通过所述第二控制组件控制所述牵引装置带动所述微波腔体和所述波导装置做水平往复运动；

步骤四：使所述微波腔体维持激发状态，待所述石英管组件中的等离子体化学反应完成，反应物在石英管组件内的沉积完成后，取出石英管组件，得到带有沉积层的反应管及带有沉积层的靶棒。