[发明专利]一种查询中断晶圆批次LOT的方法及系统

说明书

本申请公开了一种查询中断晶圆批次LOT的方法及系统，该方法包括：通过用户界面获取待查询的晶圆批次LOT信息，在晶圆检测系统中查询与所述LOT信息匹配的测试数据，所述测试数据包括所述LOT信息中的已测试晶圆ID、未测试晶圆ID、发生中断的中断数据及后续中断处理。通过实施本申请，能准确对晶圆批次LOT进行一键晶圆检测，自动判断LOT的测试情况。

技术领域

本申请涉及微电子技术领域，特别是涉及一种查询中断晶圆批次LOT的方法及系统。

背景技术

晶圆(Wafer)在制造过程中由于不同的原因会产生中断问题，如果不能及时准确地对其处理，不仅延误晶圆制造进程，还会影响出货进而对晶圆良率造成较大影响。例如，加错注释(comment)测错片子、未注意程式(recipe)是正常流(flow)还是RC flow、异常中断没有及时将中断数据上传电子设计自动化(Electronics Design Automation，EDA)等等。但依靠工程师人工判断耗时耗力，而且有可能会出现错判或遗漏的情况。因此我们需要一个足够准确的系统对测试情况进行自动判断，一键晶圆检测(WaferCheck)，方便对应拥有者(owner)及时处理事件(case)及追溯造成事件的原因进行分析。

发明内容

为克服上述现有技术存在的不足，本申请之目的在于提供一种查询中断晶圆批次LOT的方法及系统，能准确对晶圆批次LOT进行一键晶圆检测，自动判断LOT的测试情况。

为达上述及其它目的，本申请提出一种查询中断晶圆批次LOT的方法，包括如下步骤：

通过用户界面UI获取待查询的晶圆批次LOT信息，所述LOT信息包括所述LOT的平台信息、产品信息和机台信息；

在晶圆检测系统中查询与所述LOT信息匹配的测试数据，所述测试数据包括所述LOT信息中的已测试晶圆ID、未测试晶圆ID、发生中断的中断数据及后续中断处理。

可选的，所述已测试晶圆ID包括所述当前机台的已测试晶圆ID和所述LOT在其他机台上的已测试晶圆ID。

可选的，所述方法还包括：

判断所述已测试晶圆ID是否都存在晶圆列表Ban中；

若否，则对未进入所述Ban中的已测试晶圆ID进行红色预警标记，以提示WAT工程师通知制造部MFG进行相应操作，将未进入所述Ban中的已测试晶圆ID放入所述Ban中。

可选的，所述晶圆检测系统中预先存储有中断晶圆批次LOT信息及WAT工程师的中断处理结果。

可选的，所述在晶圆检测系统中查询与所述LOT信息匹配的测试数据包括：

在所述LOT信息中批次名称对应的程式名称不为空、机台为WAT机台，且工艺流程不为RC工艺流程的情况下，在晶圆检测系统中查询与所述LOT信息匹配的测试数据。

为达上述及其它目的，本申请还提出一种晶圆检测系统，包括：

获取单元，用于通过用户界面UI获取待查询的晶圆批次LOT信息，所述LOT信息包括所述LOT的平台信息、产品信息和机台信息；

查询单元，用于在晶圆检测系统中查询与所述LOT信息匹配的测试数据，所述测试数据包括所述LOT信息中的已测试晶圆ID、未测试晶圆ID、发生中断的中断数据及后续中断处理。

可选的，所述已测试晶圆ID包括所述当前机台的已测试晶圆ID和所述LOT在其他机台上的已测试晶圆ID。

可选的，所述晶圆检测系统还包括：

判断单元，用于判断所述已测试晶圆ID是否都存在晶圆列表Ban中；