[发明专利]针对SRAM图形OPC一致性检测的方法

说明书

本发明提供了一种针对SRAM图形OPC一致性检测的方法，包括：提供SRAM图形，图形具有拐角；获取OPC基准单元；对SRAM图形进行匹配，挑选出SRAM图形上OPC差异片段数量大于或等于3的边，从该边上选出靠近拐角处的OPC差异片段作为拐角OPC差异片段；若拐角OPC差异片段的OPC基准单元与SRAM图形的绝对差值大于第一设定值，则对相邻OPC差异片段的OPC基准单元添加与第一设定值相反并且是二分之一第一设定值的公差，否则，对该OPC差异片段的OPC基准单元添加与OPC基准单元与SRAM图形的绝对差值相同的公差，对相邻OPC差异片段的OPC基准单元添加与OPC基准单元与SRAM图形的绝对差值相反的值的公差；以调整后的OPC基准单元对SRAM图形进行OPC处理。最终提高SRAM图形中重复单元的OPC结果的一致性。

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，尤其是涉及一种针对SRAM图形OPC一致性检测的方法。

背景技术

目前，在对版图中SRAM图形的OPC结果的检查中，通过使用SRAM图形特定检测算法得到OPC修正后尺寸一致数量最多的图形，以此作为对SRAM图形OPC结果检查的最小检测单元，利用该最小单元对版图进行扫描匹配，在所有SRAM图形中筛选出与之尺寸不一致的图形，针对各处位置上的OPC差异，调试多种OPC测试程序，再对每个程序所得到的结果进行OPC一致性检测，根据检测结果，选出OPC一致性最优的程序。

然而，版图上的SRAM图形均为重复单元，由于OPC算法的不唯一性，其修正结果具有一定地随机性，导致对SRAM区域同种图形的修正无法保证全部一致，通常会在OPC结束后检测修正结果的一致性。由于OPC程序算法的不唯一性，导致OPC结果具有一定的随机性，该现象会给SRAM图形OPC一致性的判定引入干扰，会给测试结果带来干扰，并且大量地分批试验十分地占用OPC资源以及人力，对于OPC高效出版非常不利。

发明内容

本发明的目的在于提供一种针对SRAM图形OPC一致性检测的方法，可以提高SRAM图形中重复单元的OPC结果的一致性。为了达到上述目的，本发明提供了一种针对SRAM图形OPC一致性检测的方法，包括：

提供SRAM图形的原始版图，所述SRAM图形具有拐角；

获取所述SRAM图形的最小单元，并将其形状和尺寸作为OPC基准单元的形状和尺寸；

利用所述OPC基准单元对所述SRAM图形进行匹配，挑选出所述SRAM图形上OPC差异片段数量大于或等于3的边，从该边上选出靠近拐角处的OPC差异片段作为拐角OPC差异片段；

若所述拐角OPC差异片段的OPC基准单元与SRAM图形的绝对差值大于第一设定值，则对相邻OPC差异片段的OPC基准单元添加与第一设定值相反并且是二分之一第一设定值的公差；

若所述拐角OPC差异片段的OPC基准单元与SRAM图形的绝对差值小于或等于第一设定值，则对该OPC差异片段的OPC基准单元添加与OPC基准单元与SRAM图形的绝对差值相同的公差，对相邻OPC差异片段的OPC基准单元添加与OPC基准单元与SRAM图形的绝对差值相反的值的公差；

以调整后的OPC基准单元对所述SRAM图形进行OPC处理。

可选的，在所述的针对SRAM图形OPC一致性检测的方法中，获取所述SRAM图形的最小单元的方法包括：

利用原始版图中SRAM图形在有源层和孔层的层次上的关联性，获取SRAM图形的最小单元。

可选的，在所述的针对SRAM图形OPC一致性检测的方法中，判断OPC差异片段的方法包括：

若所述OPC基准单元和所述SRAM图形非重合，则此OPC基准单元为OPC差异片段。

可选的，在所述的针对SRAM图形OPC一致性检测的方法中，所述SRAM图形包括2D图形。