[发明专利]半导体生产制造中lot实时追踪及分析方法及系统

说明书

本发明提供了一种半导体生产制造中lot实时追踪及分析方法及系统，方法包括：根据各部门的需求及份额，对所有lot进行优先权等级划分；根据不同优先权等级对应的跑货速度及初始站点至目标站点的光刻层数设定各个lot的交货期；对各个lot进行实时追踪，获取并归档各个lot的跑货信息及各项指标信息，其中，在追踪lot的过程中，选取DPML及TR作为分析指标，实时回顾历史跑货情况以及结合交货期分析需求跑货情况；根据历史跑货情况及需求跑货情况对每个lot后续跑货的计划进行定制，以保证准时交货。通过对各个lot的优先权分级、追踪、计算重要指标以便于判断及预测各个lot的进度，使得bullet lot在复杂的晶圆生产线中的调控更加智能化，节省了人工核验判断分析的成本。

技术领域

本发明涉及半导体生产制造技术领域，尤其涉及一种半导体生产制造中lot实时追踪及分析方法及系统。

背景技术

在早先的半导体生产制造中，由于产品数量种类少、订单少，所以靠人工对生产线bullet lot(不同优先权等级的产品批次)进行跟踪计算。但是，随着半导体的快速发展，更新换代速度急速加剧，研发需求及产品数量种类不断增加，通过人力跟踪计算bullet lot的方法实时更新每批状态和判断跑货进度，不仅费时费力，还可能出现重要Lot被遗漏的情况。并且，由于产品的生产周期均是由人工控制，即当发现某lot的准时交货时间有问题时，只能通过人工方式改变该lot的优先权，以使得该lot能够准时交货；但由于是人工控制，而且都是当lot的交货时间可能滞后才对lot的优先权等级进行调控，很容易由于调控不当或时间紧迫，需要付出成倍的人力和产能才能准时交货，甚至有些lot的生产周期失控根本就无法赶上交货时间，从而严重影响准时交货率。

除此之外，人工成本的急剧增加也不允许把大量时间花在对每一个lot的追踪上，而bullet lot往往关乎研发进度及新产品量产，因此提高芯片制造业bullet lot管理的智能化迫在眉睫。

发明内容

本发明的目的在于提供一种半导体生产制造中lot实时追踪及分析方法及系统，不仅节省了人工核验判断分析的成本，还提高了对bullet lot追踪判断的准确性以及bullet lot管理的智能化。

为了达到上述目的，本发明提供了一种半导体生产制造中lot实时追踪及分析方法，包括：

根据各部门的需求及份额，对所有lot进行优先权等级划分；

根据不同优先权等级对应的跑货速度及初始站点至目标站点的光刻层数设定各个lot的交货期；

对各个lot进行实时追踪，获取并归档各个lot的跑货信息及各项指标信息，其中，在追踪所述lot的过程中，选取DPML及TR作为分析指标，实时回顾历史跑货情况以及结合所述交货期分析需求跑货情况，所述DPML为平均完成每层光刻工艺层需要的天数，所述TR为所述lot平均每天完成的跑货步数；

根据所述历史跑货情况及所述需求跑货情况对每个lot后续跑货的计划进行定制，以保证准时交货。

可选的，所述跑货信息包括所述lot的当前优先权等级、今日跑货步数及当前机台能力。

可选的，在追踪所述lot的过程中，选取DPML及TR作为分析指标，实时回顾历史跑货情况以及结合所述交货期分析需求跑货情况的步骤具体包括：

计算各个lot从投入生产到当前时间这段时间平均每天完成的跑货步数及平均完成每层光刻工艺层需要的天数；

根据所述交货期计算各个lot从当前时间到所述交货期这段时间每天需要完成的跑货步数及完成每层光刻工艺层需要的天数。

可选的，各个lot从投入生产到当前时间这段时间平均每天完成的跑货步数的计算公式如下：