[发明专利]一种超薄膜电镀装置

权利要求书

1.一种超薄膜电镀装置，其特征在于：包括第一电镀槽、第二电镀槽和膜传送机构，所述第一电镀槽和第二电镀槽并排设置，所述膜传送机构用以传送待电镀膜依次进入所述第一电镀槽和第二电镀槽而使得待电镀膜在所述第一电镀进行正面电镀、在所述第二电镀槽内进行反面电镀；

所述膜传送机构包括膜释放轮、第一载体轮、正反面转换组件和第二载体轮，所述第一载体轮和第二载体轮分别竖直设置于所述所述第一电镀槽和第二电镀槽中，且所述第一载体轮和第二载体轮的转动方向一致，所述第一载体轮和第二载体轮分别由电机驱动转动；

所述膜释放轮用以释放待电镀膜至所述第一电镀槽内；

所述第一载体轮用以提供待电镀膜承载而使得待电镀膜的反面贴附其轮面转动；

所述第二载体轮用以提供待电镀膜承载而使得待电镀膜的正面贴附其轮面转动；

所述正反面转换组件用以使得从所述第一电镀槽出来的电镀膜正反面对置后而进入至所述第二电镀槽内进行另一面的电镀。

2.根据权利要求1所述的一种超薄膜电镀装置，其特征在于：所述膜释放轮竖直设置，所述膜释放轮与所述第一载体轮和第二载体轮大致位于同一高度上，且所述膜释放轮靠近/位于所述第一电镀槽和第二电镀槽之间的区域。

3.根据权利要求2所述的一种超薄膜电镀装置，其特征在于：所述第一电镀槽与所述第二电镀槽相对的内侧壁以及所述第二电镀槽与所述第一电镀槽相对的内侧壁上分别设置有第一膜进出口和第二膜进出口。

4.根据权利要求3所述的一种超薄膜电镀装置，其特征在于：所述膜传送机构还包括第一过渡轮、第二过渡轮、第三过渡轮和第四过渡轮；

所述第一过渡轮和第二过渡轮分别位于所述第一膜进出口处，所述第一过渡轮和第二过渡轮分别用以过渡导引膜移入和移出所述第一电镀槽，所述第三过渡轮和第四过渡轮分别所述第二膜进出口处，所述第三过渡轮和第四过渡轮分别用以过渡导引膜移入和移出所述第二电镀槽，膜经由所述第二过渡轮从所述第一电镀槽导出后斜向移动至所述第三过渡轮并经过所述第三过渡轮正反面转换后而进入所述第二电镀槽。

5.根据权利要求1所述的一种超薄膜电镀装置，其特征在于：还包括第一导电机构和第二导电机构，所述第一导电机构和第二导电机构分别用以通过导电方式吸引离子沉积在膜上。

6.根据权利要求5所述的一种超薄膜电镀装置，其特征在于：所述第一导电机构包括循环转动的第一导电同步带和与所述第一导电同步带配合的多个第一同步轮，所述第一导电同步带在循环转动的过程一部分位于所述第一电镀槽内而另一部分位于所述第一电镀槽之外，所述第一导电同步带位于所述第一电镀槽内的部分围绕并靠近所述第一载体轮的部分轮周，所述第一导电同步带随所述第一载体轮的转动而循环转动；

所述第二导电机构包括循环转动的第二导电同步带和与所述第二导电同步带配合的多个第二同步轮，所述第一导电同步带在循环转动的过程一部分位于所述第二电镀槽内而另一部分位于所述第二电镀槽之外，所述第二导电同步带位于所述第二电镀槽内的部分围绕并靠近所述第二载体轮的部分轮周，所述第二导电同步带随所述第二载体轮的转动而循环转动。

7.根据权利要求6所述的一种超薄膜电镀装置，其特征在于：所述第一导电同步带和第二导电同步带分别设置两个，两个所述第一导电同步带分别用以与膜的上下边接触导电，两个所述第二导电同步带分别用以与膜的上下边接触导电。

8.根据权利要求1所述的一种超薄膜电镀装置，其特征在于：所述第一电镀槽和第二电镀槽内分别设置有作为阳极的导电铜块。

9.根据权利要求8所述的一种超薄膜电镀装置，其特征在于：所述第一电镀槽的内壁环绕所述第一载体轮设置有多个所述导电铜块，所述第二电镀槽的内壁环绕所述第二载体轮设置有多个所述导电铜块。

10.根据权利要求1所述的一种超薄膜电镀装置，其特征在于：所述第一电镀槽和第二电镀槽内还分别设置有喷淋管，所述喷淋管上设置有喷淋头。